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1. WO2020094371 - SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE CONDITIONNEMENT THERMIQUE D'UNE PLAQUETTE DANS UN APPAREIL À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES

Numéro de publication WO/2020/094371
Date de publication 14.05.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/078514
Date du dépôt international 21.10.2019
CIB
H01J 37/28 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28avec faisceaux de balayage
H01J 37/22 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
22Dispositifs optiques ou photographiques associés au tube
Déposants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventeurs
  • VAN HEUMEN, Martijn
  • GOSEN, Jeroen
Mandataires
  • PETERS, John
Données relatives à la priorité
62/756,48306.11.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEMS AND METHODS FOR THERMALLY CONDITIONING A WAFER IN A CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE CONDITIONNEMENT THERMIQUE D'UNE PLAQUETTE DANS UN APPAREIL À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
Abrégé
(EN)
An improved particle beam inspection apparatus, and more particularly, a particle beam inspection apparatus including a thermal conditioning station for preconditioning a temperature of a wafer is disclosed. The charged particle beam apparatus may scan the wafer to measure one or more characteristics of the structures on the wafer and analyze the one or more characteristics. The charged particle beam apparatus may further determine a temperature characteristic of the wafer based on the analysis of the one or more characteristics of the structure and adjust the thermal conditioning station based on the temperature characteristic.
(FR)
L'invention concerne un appareil d'inspection de faisceau de particules amélioré et, plus particulièrement, un appareil d'inspection de faisceau de particules comprenant une station de conditionnement thermique pour préconditionner une température d'une plaquette. L'appareil à faisceau de particules chargées peut balayer la plaquette pour mesurer une ou plusieurs caractéristiques des structures sur la plaquette et analyser lesdites une ou plusieurs caractéristiques. L'appareil à faisceau de particules chargées peut en outre déterminer une caractéristique de température de la plaquette sur la base de l'analyse desdites une ou plusieurs caractéristiques de la structure et ajuster la station de conditionnement thermique sur la base de la caractéristique de température.
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