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1. WO2020093238 - STRUCTURE DE TEST DE CLAQUAGE DIÉLECTRIQUE DÉPENDANT DU TEMPS ET PROCÉDÉ DE TEST CORRESPONDANT

Numéro de publication WO/2020/093238
Date de publication 14.05.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2018/114143
Date du dépôt international 06.11.2018
CIB
G01R 31/12 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31Dispositions pour tester les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour tests électriques caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
12Test de la rigidité diélectrique ou de la tension disruptive
H01L 21/66 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants
  • YANGTZE MEMORY TECHNOLOGIES CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • YANG, Shengwei
  • HAN, Kun
Mandataires
  • NTD UNIVATION INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY LTD.
Données relatives à la priorité
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) Time Dependent Dielectric Breakdown Test Structure and Test Method Thereof
(FR) STRUCTURE DE TEST DE CLAQUAGE DIÉLECTRIQUE DÉPENDANT DU TEMPS ET PROCÉDÉ DE TEST CORRESPONDANT
Abrégé
(EN)
A time dependent dielectric breakdown test structure (1, 3) includes a plurality of test units connected in parallel between a constant voltage and a ground. Each of the plurality of test units (10, 30) includes a dielectric test sample (Gn, Gp) connected to the constant voltage (V+, V-); and a current restraint unit connected between the dielectric test sample (Gn, Gp) and the ground, for restraining a breakdown current (In, Ip) from flowing on the dielectric test sample (Gn, Gp) after the constant voltage (V+, V-) has broken the dielectric test sample (Gn, Gp).
(FR)
L'invention concerne une structure de test de claquage diélectrique dépendant du temps comprenant une pluralité d'unités de test connectées en parallèle entre une tension constante et une masse. Chaque unité de la pluralité d'unités de test (10, 30) comprend un échantillon de test diélectrique (Gn, Gp) connecté à la tension constante (V+, V-) ; et une unité de retenue de courant connectée entre l'échantillon de test diélectrique (Gn, Gp) et la masse, permettant de limiter la circulation d'un courant de claquage (In, Ip) sur l'échantillon de test diélectrique (Gn, Gp) après le claquage par la tension constante (V+, V-) de l'échantillon de test diélectrique (Gn, Gp).
Également publié en tant que
CN201880002396.X
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