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1. WO2020091162 - DISPOSITIF DE TRANSFERT VERTICAL SANS CONTACT UTILISANT UN MOTEUR LINÉAIRE

Numéro de publication WO/2020/091162
Date de publication 07.05.2020
N° de la demande internationale PCT/KR2019/004188
Date du dépôt international 09.04.2019
CIB
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
Déposants
  • 숭실대학교산학협력단 FOUNDATION OF SOONGSIL UNIVERSITY-INDUSTRY COOPERATION [KR]/[KR]
Inventeurs
  • 안형준 AHN, Hyeong Joon
Mandataires
  • 특허법인 엠에이피에스 MAPS INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM
Données relatives à la priorité
10-2018-013004029.10.2018KR
Langue de publication coréen (KO)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) CONTACTLESS VERTICAL TRANSFER DEVICE USING LINEAR MOTOR
(FR) DISPOSITIF DE TRANSFERT VERTICAL SANS CONTACT UTILISANT UN MOTEUR LINÉAIRE
(KO) 선형 모터를 이용한 비접촉 수직 이송 장치
Abrégé
(EN)
The present invention proposes a contactless vertical transfer device. The contactless transfer device according to an embodiment of the present invention comprises: a transfer unit for picking up an article; and a linear motor located on a side of the transfer unit to move the transfer unit, wherein the linear motor comprises: at least one driving unit located on the side of the transfer unit and including a mover wound with a coil; and a rail unit located to be spaced apart from the mover by a predetermined distance in a lateral direction and including a plurality of magnet units provided in a transfer direction of a carrier, and the transfer unit moves along the rail unit by a traction force of the mover and the magnet units.
(FR)
La présente invention propose un dispositif de transfert vertical sans contact. Le dispositif de transfert sans contact selon un mode de réalisation de la présente invention comprend : une unité de transfert pour prélever un article; et un moteur linéaire situé sur un côté de l'unité de transfert pour déplacer l'unité de transfert, le moteur linéaire comprenant au moins une unité d'entraînement située sur le côté de l'unité de transfert et comprenant un dispositif tracteur enroulé sur une bobine; et une unité de rail située de façon à être espacée du dispositif tracteur d'une distance prédéterminée dans une direction latérale et comprenant une pluralité d'unités d'aimant disposées dans une direction de transfert d'un support, et l'unité de transfert se déplace le long de l'unité de rail par une force de traction du dispositif tracteur et des unités d'aimant.
(KO)
본 발명은 비접촉 수직 이송 장치를 제안한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 이송장치는 물품을 픽업하는 이송부; 및 상기 이송부의 측부에 위치하여, 상기 이송부를 이동시키는 선형모터를 포함하되, 상기 선형 모터는 상기 이송부의 측부에 위치하고 코일이 권취된 이동자가 구비된 적어도 하나 이상의 구동부; 및 상기 이동자와 측부방향으로 소정의 거리 이격되어 위치하고, 상기 반송체의 이송방향을 따라 복수가 구비된 자석부를 구비한 레일부를 포함하고, 상기 이송부는 상기 이동자 및 자석부의 견인력에 의해 상기 레일부를 따라 이동한다.
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