Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

Goto Application

1. WO2020072121 - SOUPAPE DE DISTRIBUTION DE VIDE LINÉAIRE AUTOMATISÉE

Numéro de publication WO/2020/072121
Date de publication 09.04.2020
N° de la demande internationale PCT/US2019/044131
Date du dépôt international 30.07.2019
CIB
H01L 21/68 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
68pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/683 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683pour le maintien ou la préhension
B25J 15/06 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
15Têtes de préhension
06avec moyens de retenue magnétiques ou fonctionnant par succion
CPC
B23B 31/307
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BTURNING; BORING
31Chucks
02Chucks
24characterised by features relating primarily to remote control of the gripping means
30using fluid-pressure means in the chuck
307Vacuum chucks
B23Q 3/088
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING
3Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
02for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
06Work-clamping means
08other than mechanically-actuated
088using vacuum means
B25B 11/005
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
BTOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
11Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
005Vacuum work holders
Déposants
  • ALTA DEVICES, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • YOSHIDA, Steven Giro
  • SORABJI, Khurshed
  • NGUYEN, Minh
  • SANFORD, Eric
  • PARKER, Dave
Mandataires
  • CASTRO, Francisco
  • HARRINGTON, Colin
  • GARDNER, Brett
  • WILKINSON, Yi
Données relatives à la priorité
16/149,89302.10.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) AUTOMATED LINEAR VACUUM DISTRIBUTION VALVE
(FR) SOUPAPE DE DISTRIBUTION DE VIDE LINÉAIRE AUTOMATISÉE
Abrégé
(EN)
Aspects of a system for holding workpieces in place during processing are described. In an example, the system includes a distribution manifold coupled to a vacuum source, and multiple linear valves coupled to the distribution manifold, where each linear valve has a manifold with multiple openings and is adjustable to select one or more of the multiple openings to have a path to the vacuum source through the distribution manifold for providing a vacuum to hold a workpiece in place. In another example, the system includes a vacuum holder having a first array of openings, a system of linear valves positioned below the vacuum holder and having a second array of openings that aligns with the first array of openings, and a vacuum source that provides vacuum for holding a workpiece on the vacuum holder. A method for holding workpieces in place during processing using these systems is also described.
(FR)
Des aspects de l'invention concernent un système pour maintenir des pièces en place pendant un traitement. Dans un exemple, le système comprend un collecteur de distribution couplé à une source de vide et de multiples soupapes linéaires couplées au collecteur de distribution, chaque soupape linéaire ayant un collecteur avec de multiples ouvertures et étant réglable pour sélectionner une ou plusieurs des multiples ouvertures pour avoir un trajet vers la source de vide à travers le collecteur de distribution pour fournir un vide pour maintenir une pièce en place. Dans un autre exemple, le système comprend un support sous vide ayant un premier réseau d'ouvertures, un système de soupapes linéaires positionnées sous le support de vide et ayant un second réseau d'ouvertures qui s'aligne avec le premier réseau d'ouvertures et une source de vide qui fournit un vide pour maintenir une pièce sur le support sous vide. L'invention concerne également un procédé de maintien de pièces en place pendant le traitement à l'aide de ces systèmes.
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international