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1. WO2020071181 - FILTRE D'INTERFÉRENCE DE FABRY-PEROT

Numéro de publication WO/2020/071181
Date de publication 09.04.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/037349
Date du dépôt international 24.09.2019
CIB
G02B 26/00 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
G01J 3/26 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
12Production du spectre; Monochromateurs
26en utilisant une réflexion multiple, p.ex. interféromètre de Fabry-Perot, filtre à interférences variables
G02B 5/28 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5Eléments optiques autres que les lentilles
20Filtres
28Filtres d'interférence
CPC
G01J 3/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
26using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
G02B 26/00
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
G02B 5/28
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
20Filters
28Interference filters
Déposants
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 笠原 隆 KASAHARA Takashi
  • 柴山 勝己 SHIBAYAMA Katsumi
  • 廣瀬 真樹 HIROSE Masaki
  • 大山 泰生 OYAMA Hiroki
  • 蔵本 有未 KURAMOTO Yumi
Mandataires
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
Données relatives à la priorité
2018-18834903.10.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) FABRY-PEROT INTERFERENCE FILTER
(FR) FILTRE D'INTERFÉRENCE DE FABRY-PEROT
(JA) ファブリペロー干渉フィルタ
Abrégé
(EN)
This Fabry-Perot interference filter is provided with: a substrate having a first surface; a first laminate having a first mirror portion disposed on the first surface; a second laminate having a second mirror portion facing the first mirror portion with a gap therebetween on the opposite side of the substrate with respect to the first mirror portion; an intermediate layer having a demarcation portion that demarcates the gap between the first laminate and the second laminate; a first electrode formed in a first layer constituting the first laminate; and a second electrode formed in a second layer constituting the second laminate and facing the first electrode. The intermediate layer further has a covering portion covering an outer edge of a plurality of layers including the first layer among layers constituting the first laminate, and an extension portion extending outward from the covering portion along a direction parallel to the first surface. The second laminate extends so as to cover a step surface formed by the covering portion between the demarcation portion and the extension portion, and to cover an outer end surface of the extension portion.
(FR)
Ce filtre d'interférence de Fabry-Perot est pourvu : d'un substrat ayant une première surface, d'un premier stratifié ayant une première partie miroir disposée sur la première surface, d'un second stratifié ayant une seconde partie miroir faisant face à la première partie miroir avec un espace entre celles-ci sur le côté opposé du substrat par rapport à la première partie de miroir, d'une couche intermédiaire ayant une partie de démarcation qui délimite l'espace entre le premier stratifié et le second stratifié, d'une première électrode formée dans une première couche constituant le premier stratifié et d'une seconde électrode formée dans une seconde couche constituant le second stratifié et faisant face à la première électrode. La couche intermédiaire comprend également une partie de couverture recouvrant un bord extérieur d'une pluralité de couches comprenant la première couche parmi des couches constituant le premier stratifié et une partie d'extension s'étendant vers l'extérieur à partir de la partie de couverture le long d'une direction parallèle à la première surface. Le second stratifié s'étend de manière à recouvrir une surface de marche formée par la partie de recouvrement entre la partie de démarcation et la partie d'extension, et pour recouvrir une surface d'extrémité extérieure de la partie d'extension.
(JA)
ファブリペロー干渉フィルタは、第1表面を有する基板と、第1表面に配置された第1ミラー部を有する第1積層体と、第1ミラー部に対して基板とは反対側において空隙を介して第1ミラー部と向かい合う第2ミラー部を有する第2積層体と、第1積層体と第2積層体との間において空隙を画定する画定部を有する中間層と、第1積層体を構成する第1層に形成された第1電極と、第2積層体を構成する第2層に形成され、第1電極と向かい合う第2電極と、を備える。中間層は、第1積層体を構成する層のうち、第1層を含む複数層の外縁を被覆する被覆部と、第1表面に平行な方向に沿って被覆部から外側に延在する延在部と、を更に有する。第2積層体は、被覆部により画定部と延在部との間に形成された段差面、及び延在部の外端面を被覆するように延在している。
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