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1. WO2020066295 - ÉLÉMENT DE DÉTECTION DE SUBSTANCE

Numéro de publication WO/2020/066295
Date de publication 02.04.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/030447
Date du dépôt international 02.08.2019
CIB
G01N 5/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
5Analyse des matériaux par pesage, p.ex. pesage des fines particules séparées d'un gaz ou d'un liquide
02en absorbant ou adsorbant les constituants d'un matériau et en déterminant la variation de poids de l'adsorbant, p.ex. en déterminant la teneur en eau
H01L 41/047 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
02Détails
04d'éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
047Electrodes
H01L 41/053 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
02Détails
04d'éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
053Montures, supports, enveloppes ou boîtiers
H01L 41/113 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
113à entrée mécanique et sortie électrique
CPC
G01N 5/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
5Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid
02by absorbing or adsorbing components of a material and determining change of weight of the adsorbent, e.g. determining moisture content
H01L 41/047
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
047Electrodes ; or electrical connection arrangements
H01L 41/053
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
053Mounts, supports, enclosures or casings
H01L 41/113
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
113with mechanical input and electrical output ; , e.g. generators, sensors
Déposants
  • 第一精工株式会社 DAI-ICHI SEIKO CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 緒方 健治 OGATA Kenji
  • 黒木 省吾 KUROGI Shogo
Mandataires
  • 木村 満 KIMURA Mitsuru
Données relatives à la priorité
2018-18235327.09.2018JP
2019-08065422.04.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SUBSTANCE DETECTION ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT DE DÉTECTION DE SUBSTANCE
(JA) 物質検出素子
Abrégé
(EN)
A through-hole (3) is provided to a support substrate (2). A plate-like beam (4) extends from the edge of the through-hole (3) toward an opposite edge so as to cover a part of the through-hole (3), and is provided with a piezoelectric element. A drive electrode (16) applies a voltage to the piezoelectric element, and vibrates the beam (4). Detection electrodes (17A, 17B) detect information about the vibration frequency of the beam (4). Sticking of a substance to substance adsorption films (5A, 5B) causes a change in the vibration frequency of the beam (4). The substance adsorption films (5A, 5B) and the detection electrodes (17A, 17B) are provided to the same positions on the frontside and backside of the beam (4).
(FR)
Selon l'invention, un trou traversant (3) est formé sur un substrat de support (2). Une poutre de type plaque (4) s'étend du bord du trou traversant (3) à un bord opposé de façon à recouvrir une partie du trou traversant (3), et comprend un élément piézoélectrique. Une électrode d'attaque (16) applique une tension sur l'élément piézoélectrique et fait vibrer la poutre (4). Des électrodes de détection (17A, 17B) détectent des informations relatives à la fréquence de vibration de la poutre (4). Le collage d'une substance sur des films d'adsorption de substance (5A, 5B) provoque une variation de la fréquence de vibration de la poutre (4). Les films d'adsorption de substance (5A, 5B) et les électrodes de détection (17A, 17B) sont disposés aux mêmes positions sur la face avant et la face arrière de la poutre (4).
(JA)
支持基板(2)には、貫通孔(3)が設けられている。板状の梁(4)は、貫通孔(3)の一部を塞ぐように貫通孔(3)の縁から対向する縁へ向かって延び、圧電素子が設けられている。駆動電極(16)は、圧電素子に電圧を印加して梁(4)を振動させる。検出電極(17A,17B)は、梁(4)の振動周波数に関する情報を検出する。物質吸着膜(5A,5B)は、物質が付着することで梁(4)の振動周波数を変化させる。物質吸着膜(5A,5B)と検出電極(17A,17B)とは、梁(4)の表と裏の同じ位置に設けられている。
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