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1. WO2020020564 - DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT DE SUBSTRAT AVEC CAPTEUR DE TEMPÉRATURE À DISTANCE

Numéro de publication WO/2020/020564
Date de publication 30.01.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/067152
Date du dépôt international 27.06.2019
CIB
H01J 37/20 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
20Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériau; Moyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support
G01K 11/12 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
KMESURE DES TEMPÉRATURES; MESURE DES QUANTITÉS DE CHALEUR; ÉLÉMENTS THERMOSENSIBLES NON PRÉVUS AILLEURS
11Mesure de la température basée sur les variations physiques ou chimiques, n'entrant pas dans les groupes G01K3/, G01K5/, G01K7/ ou G01K9/225
12utilisant le changement de couleur ou de translucidité
H01L 21/67 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
CPC
G01K 1/14
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
1Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
14Supports; Fastening devices; Mounting thermometers in particular locations
G01K 11/125
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
12using change of colour or translucency
125using change in reflectance
H01J 2237/2001
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
2001Maintaining constant desired temperature
H01J 37/20
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
H01L 21/67248
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
67248Temperature monitoring
Déposants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventeurs
  • BRUURS, Patriek, Adrianus, Alphonsus, Maria
  • VAN BANNING, Dennis, Herman, Caspar
  • VAN DER TOORN, Jan-Gerard, Cornelis
  • KADIJK, Edwin, Cornelis
Mandataires
  • PETERS, John Antoine
Données relatives à la priorité
18185349.024.07.2018EP
19169077.512.04.2019EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SUBSTRATE POSITIONING DEVICE WITH REMOTE TEMPERATURE SENSOR
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT DE SUBSTRAT AVEC CAPTEUR DE TEMPÉRATURE À DISTANCE
Abrégé
(EN)
The invention relates to a stage apparatus (400), the stage apparatus comprising: • - an object table (410) configured to hold an object (420); • - a positioning device (430) configured to position the object table and the object held by the object table; • - a remote temperature sensor (450) configured to measure a temperature of the object table and/or the object, wherein the remote temperature sensor comprises a passive temperature sensing element (450.1).
(FR)
L'invention concerne un appareil de scène (400), l'appareil de scène comprenant : • - une table d'objet (410) configurée pour contenir un objet (420) ; • - un dispositif de positionnement (430) configuré pour positionner la table d'objet et l'objet maintenu par la table d'objet ; • - un capteur de température à distance (450) configuré pour mesurer une température de la table d'objet et/ou de l'objet, le capteur de température à distance comprenant un élément de détection de température passif (450,1).
Également publié en tant que
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