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1. WO2020012723 - ÉLÉMENT MEMS ET DISPOSITIF OBTURATEUR FAISANT APPEL AUDIT ÉLÉMENT

Numéro de publication WO/2020/012723
Date de publication 16.01.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/011811
Date du dépôt international 20.03.2019
CIB
B81B 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G02B 26/02 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
02pour commander l'intensité de la lumière
G03B 9/10 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
BAPPAREILS OU DISPOSITIONS POUR PRENDRE DES PHOTOGRAPHIES, POUR LES PROJETER OU LES VISIONNER; APPAREILS OU DISPOSITIONS UTILISANT DES TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; LEURS ACCESSOIRES
9Obturateurs de pose; Diaphragmes
08Obturateurs
10à lame ou disque tournant ou pivotant autour de la perpendiculaire à son plan
CPC
B81B 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G02B 26/02
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
02for controlling the intensity of light
G03B 9/10
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
9Exposure-making shutters; Diaphragms
08Shutters
10Blade or disc rotating or pivoting about axis normal to its plane
Déposants
  • 住友精密工業株式会社 SUMITOMO PRECISION PRODUCTS CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 木内 万里夫 KIUCHI Mario
Mandataires
  • 特許業務法人前田特許事務所 MAEDA & PARTNERS
Données relatives à la priorité
2018-13008909.07.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) MEMS ELEMENT AND SHUTTER DEVICE EMPLOYING SAME
(FR) ÉLÉMENT MEMS ET DISPOSITIF OBTURATEUR FAISANT APPEL AUDIT ÉLÉMENT
(JA) MEMS素子及びそれを用いたシャッタ装置
Abrégé
(EN)
A displacement enlarging mechanism 510 comprising a MEMS element includes: a base board 200; a fixed portion 1 provided on the base board 200; an opening 2 provided in the fixed portion 1; an actuator 3 of which both ends are connected to the fixed portion 1; a beam 5 of which a base end side is connected to the actuator 3, and which extends parallel to an upper surface of the base board 200; a driven member 7 connected to a distal end side of the beam 5; and a supporting portion 9 which divides the opening 2 in a plan view, while being disposed parallel to the actuator 3 and having both ends thereof connected to the fixed portion 1. The actuator 3, the beam 5, the driven member 7, and the supporting portion 9 are disposed within the opening 2 in a plan view.
(FR)
Un mécanisme d'amplification de déplacement (510) comprenant un élément MEMS comprend : une carte de base (200) ; une partie fixe (1) prévue sur la plaque de base (200) ; une ouverture (2) prévue dans la partie fixe (1) ; un actionneur (3) dont les deux extrémités sont reliées à la partie fixe (1) ; un faisceau (5) dont un côté d'extrémité de base est relié à l'actionneur (3), et qui s'étend parallèlement à une surface supérieure de la plaque de base (200) ; un élément entraîné (7) relié à un côté d'extrémité distale du faisceau (5) ; et une partie de support (9) qui divise l'ouverture (2) dans une vue en plan, tout en étant disposée parallèlement à l'actionneur (3) et dont les deux extrémités sont reliées à la partie fixe (1). L'actionneur (3), le faisceau (5), l'élément entraîné (7) et la partie de support (9) sont disposés à l'intérieur de l'ouverture (2) dans une vue en plan.
(JA)
MEMS素子である変位拡大機構510は、基板200と、基板200に設けられた固定部1と、固定部1に設けられた開口2と、両端が固定部1に接続されたアクチュエータ3と、基端側がアクチュエータ3に接続され、基板200の上面と平行に延在するビーム5と、ビーム5の先端側に接続された被駆動部材7と、平面視で開口2を分割する一方、両端が固定部1に接続されてアクチュエータ3と並列に配置された支持部9と、を有している。アクチュエータ3とビーム5と被駆動部材7と支持部9とは、平面視で開口2内に配置されている。
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