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1. WO2020002384 - CAPTEUR MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE

Numéro de publication WO/2020/002384
Date de publication 02.01.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/066920
Date du dépôt international 25.06.2019
CIB
B81B 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G01C 19/5733 2012.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5719utilisant des masses planaires vibrantes entraînées dans une vibration de translation le long d’un axe
5733Details de structure ou topologie
CPC
B81B 2201/0228
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0228Inertial sensors
B81B 2203/0145
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0145Flexible holders
B81B 2203/0154
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0145Flexible holders
0154Torsion bars
B81B 3/0045
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0035Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
004Angular deflection
0045Improve properties related to angular swinging, e.g. control resonance frequency
G01C 19/5733
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5733Structural details or topology
Déposants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • RAMSPERGER, Robert
  • PRUETZ, Odd-Axel
Données relatives à la priorité
10 2018 210 491.327.06.2018DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) MIKROELEKTROMECHANISCHER SENSOR
(EN) MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SENSOR
(FR) CAPTEUR MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE
Abrégé
(DE)
Mikroelektromechanischer Sensor (1), insbesondere Drehratensensor, umfassend eine Feder (30), die eine erste Masse (10) und eine zweite Masse (20) des Sensors verbindet, dadurch gekennzeichnet, dass die Feder (30) mindestens vier U- Federbereiche (40, 40', 40'', 40''') und/oder mindestens zwei O- Federbereiche (50, 50') umfasst.
(EN)
Micro-electro-mechanical sensor (1), in particular yaw rate sensor, comprising a spring (30), which connects a first mass (10) to a second mass (20) of the sensor, characterized in that the spring (30) comprises at least four U-shaped spring portions (40, 40', 40'', 40''') and/or at least two O-shaped spring portions (50, 50’).
(FR)
L’invention concerne un capteur micro-électromécanique (1), en particulier un capteur de vitesse de rotation, qui comprend un ressort (30) qui relie une première masse (10) et une deuxième masse (20) du capteur. L’invention est caractérisée en ce que le ressort (30) comporte au moins quatre régions de ressort en U (40, 40’, 40’’, 40’’’) et/ou au moins deux portions de ressort en O (50, 50’).
Également publié en tant que
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