(EN) A probe card for a test equipment of electronic devices, comprises a support plate (23),a flexible membrane (24) adapted to carry high frequency signals between a device under test and the support plate (23), said flexible membrane (24) being connected to the support plate (23) through a peripheral zone (24b), a damping structure (21) arranged between the support plate (23) and the flexible membrane (24) and adapted to damp the abutment onto the device under test, as well as a plurality of micro contact probes (26) comprising a body (26') extending between a first end (26a) and a second end (26b), said second end (26b) being adapted to abut onto contact pads(27) of the device under test, wherein the damping structure (21) and the first ends (26a) of the micro contact probes(26) are in contact with opposite faces (Fa, Fb) of a same contact zone (24a) of the flexible membrane (24). Suitably, the flexible membrane (24) includes at least one weakening zone (24c) arranged between the contact zone (24a) and the peripheral zone (24b) and adjacent thereto, said weakening zone (24c) comprising at least one weakening element (28) adapted to mechanically weaken the flexible membrane (24) and to locally increase the deformability thereof.
(FR) La présente invention concerne une carte sonde pour un équipement d'essai de dispositifs électroniques, comprenant une plaque de support (23), une membrane souple (24) conçue pour transporter des signaux haute fréquence entre un dispositif à l'essai et la plaque de support (23), ladite membrane souple (24) étant reliée à la plaque de support (23) à travers une zone périphérique (24b), une structure d'amortissement (21) disposée entre la plaque de support (23) et la membrane souple (24) et conçue pour amortir la butée sur le dispositif à l'essai, ainsi qu'une pluralité de microsondes de contact (26) comprenant un corps (26') s'étendant entre une première extrémité (26a) et une seconde extrémité (26b), ladite seconde extrémité (26b) étant conçue pour venir en butée sur des plots de contact (27) du dispositif à l'essai, la structure d'amortissement (21) et les premières extrémités (26a) des micro-sondes de contact (26) étant en contact avec des faces opposées (Fa, Fb) d'une même zone de contact (24a) de la membrane souple (24). Idéalement, la membrane souple (24) comprend au moins une zone d'affaiblissement (24c) disposée entre la zone de contact (24a) et la zone périphérique (24b) et adjacente à ces dernières, ladite zone d'affaiblissement (24c) comprenant au moins un élément d'affaiblissement (28) pouvant affaiblir mécaniquement la membrane souple (24) et augmenter localement sa déformabilité.