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1. WO2019186018 - ELLIPSOMÈTRE OU SCATTÉROMÈTRE INSTANTANÉ ET PROCÉDÉ DE MESURE ASSOCIÉ

Numéro de publication WO/2019/186018
Date de publication 03.10.2019
N° de la demande internationale PCT/FR2019/050577
Date du dépôt international 14.03.2019
CIB
G01N 21/21 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
21Propriétés affectant la polarisation
G01N 21/47 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
47Dispersion, c. à d. réflexion diffuse
G01J 3/447 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
28Etude du spectre
447Spectrométrie par polarisation
G01J 4/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
4Mesure de la polarisation de la lumière
CPC
G01N 2021/213
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
21Polarisation-affecting properties
211Ellipsometry
213Spectrometric ellipsometry
G01N 2021/4792
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
47Scattering, i.e. diffuse reflection
4792Polarisation of scatter light
G01N 21/211
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
21Polarisation-affecting properties
211Ellipsometry
G01N 21/274
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
27using photo-electric detection
274Calibration, base line adjustment, drift correction
G01N 21/47
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
47Scattering, i.e. diffuse reflection
Déposants
  • HORIBA FRANCE SAS [FR]/[FR]
Inventeurs
  • ACHER, Olivier
  • PODZOROV, Alexander
  • NGUYEN, Thanh-Liem
  • VILLIER, Brice
  • MELIZZI, Géraldine
  • GASTON, Jean-Paul
Mandataires
  • CHAUVIN, Vincent
  • LE CACHEUX, Samuel
  • ORSINI, Fabienne
  • BLAYO, Nadine
  • CANUEL, Clélia
  • DEVIC, David
  • LIENARD, Céline
  • LE BIHAN, Jean-Michel
  • CELLIER, Pascal
  • BONNANS, Arnaud
  • DE CACQUERAY-VALMENIER, Stanislas
Données relatives à la priorité
185222515.03.2018FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) INSTANTANEOUS ELLIPSOMETER OR SCATTEROMETER AND ASSOCIATED MEASURING METHOD
(FR) ELLIPSOMÈTRE OU SCATTÉROMÈTRE INSTANTANÉ ET PROCÉDÉ DE MESURE ASSOCIÉ
Abrégé
(EN)
The invention relates to an ellipsometer or scatterometer comprising a light source (1), a polarizer (5), an optical illumination system (2, 4) suitable for directing an incident polarized light beam (11) towards a sample (6), a wavefront-division optical beam splitter (20) arranged to receive a secondary light beam (12) produced by reflection, transmission or diffraction, the wavefront-division optical beam splitter (20) being oriented to form three collimated split beams, an optical polarization modification device (25) and an optical polarization splitting device (26) to form six angularly split beams, a detection system suitable for detecting the six split beams, and a processing system suitable for deducing therefrom an ellipsometric or scatterometric measurement.
(FR)
L'invention concerne un ellipsomètre ou scattéromètre comprenant une source de lumière (1), un polariseur (5), un système optique d'illumination (2, 4) adapté pour diriger un faisceau lumineux incident polarisé (11) vers un échantillon (6), un séparateur optique de faisceau à division de front d'onde (20) disposé pour recevoir un faisceau lumineux secondaire (12) formé par réflexion, transmission ou diffraction, le séparateur optique de faisceau à division de front d'onde(20) étant orienté pour former trois faisceaux divisés collimatés, un dispositif optique de modification de polarisation (25) et un dispositif optique séparateur de polarisation (26) pour former six faisceaux séparés angulairement, un système de détection adapté pour détecter les six faisceaux séparés et un système de traitement adapté pour en déduire une mesure d'ellipsométrie ou de scattérométrie.
Également publié en tant que
EP2019742813
JP2020572630
KR1020207029341
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