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1. WO2019125891 - DISPOSITIF DE FOCALISATION D'IONS

Numéro de publication WO/2019/125891
Date de publication 27.06.2019
N° de la demande internationale PCT/US2018/065380
Date du dépôt international 13.12.2018
CIB
H01J 49/06 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
49Spectromètres pour particules ou tubes séparateurs de particules
02Détails
06Dispositifs électronoptiques ou ionoptiques
CPC
H01J 2237/049
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
04Means for controlling the discharge
049Focusing means
H01J 2237/30472
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
304Controlling tubes
30472Controlling the beam
H01J 37/05
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
05Electron or ion-optical arrangements for separating electrons or ions according to their energy ; or mass
H01J 37/08
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
08Ion sources; Ion guns
H01J 37/21
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
21Means for adjusting the focus
H01J 37/3171
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
317for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
3171for ion implantation
Déposants
  • BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE [US]/[US]
Inventeurs
  • IBRAHIM, Yehia M.
  • SMITH, Richard D.
Mandataires
  • MCGRATH, Ethan A.
Données relatives à la priorité
15/849,41720.12.2017US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ION FOCUSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE FOCALISATION D'IONS
Abrégé
(EN)
Apparatus includes a plurality of electrode arrangements spaced apart from each other opposite an ion propagation axis and defining an ion transfer channel that extends along the ion propagation axis that tapers between an input end that is situated to receive ions and an output end that is situated to couple the received ions to an input end of an ion guide. Methods include positioning a plurality of electrode arrangements at oblique angles opposite an ion propagation axis so as to form an ion transfer channel that tapers between an input end and an output end, and coupling the output end of the ion transfer channel to an input end of an ion optical element so as to direct ions in the ion transfer channel into the ion optical element. RF voltages are applied for confining the ions. Travelling waves are generated along the ion propagation axis.
(FR)
L'invention concerne un appareil comprenant des agencements d'une pluralité d'électrodes espacés l'un de l'autre opposés à un axe de propagation d'ions et définissant un canal de transfert d'ions qui s'étend le long de l'axe de propagation d'ions qui va en rétrécissant entre une extrémité d'entrée qui est située de façon à recevoir des ions et une extrémité de sortie qui est située de façon à coupler les ions reçus à une extrémité d'entrée d'un guide d'ions. Les procédés consistent à positionner une pluralité d'agencements d'électrodes à des angles obliques opposés à un axe de propagation d'ions de façon à former un canal de transfert d'ions qui va en rétrécissant entre une extrémité d'entrée et une extrémité de sortie, et à coupler l'extrémité de sortie du canal de transfert d'ions à une extrémité d'entrée d'un élément optique ionique de façon à diriger des ions dans le canal de transfert d'ions dans l'élément optique ionique. Des tensions RF sont appliquées pour confiner les ions. Des ondes progressives sont générées le long de l'axe de propagation d'ions.
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