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1. WO2019118327 - SONDE TACTILE INTERFÉROMÉTRIQUE

Numéro de publication WO/2019/118327
Date de publication 20.06.2019
N° de la demande internationale PCT/US2018/064701
Date du dépôt international 10.12.2018
CIB
G01B 5/016 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
5Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens mécaniques
004pour mesurer les coordonnées de points
008en utilisant des machines de mesure de coordonnées
012Têtes de contact de palpeurs pour de telles machines
016Détails de structure des contacts
CPC
G01B 11/007
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
002for measuring two or more coordinates
005coordinate measuring machines
007feeler heads therefor
G01B 11/2441
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
2441using interferometry
G01B 21/042
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
21Measuring arrangements or details thereof in so far as they are not adapted to particular types of measuring means of the preceding groups
02for measuring length, width, or thickness
04by measuring coordinates of points
042Calibration or calibration artifacts
G01B 5/0009
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
5Measuring arrangements characterised by the use of mechanical means
0002Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
0009Guiding surfaces; Arrangements compensating for non-linearity there-of
G01B 5/012
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
5Measuring arrangements characterised by the use of mechanical means
004for measuring coordinates of points
008using coordinate measuring machines
012Contact-making feeler heads therefor
G01B 7/012
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
7Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic means
004for measuring coordinates of points
008using coordinate measuring machines
012Contact-making feeler heads therefor
Déposants
  • QUALITY VISION INTERNATIONAL INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • RAHO, Guglielmo
Mandataires
  • ANDERSON, Andrew J.
  • SHAW, Brian B.
  • RYAN, Thomas B.
Données relatives à la priorité
15/837,06311.12.2017US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) INTERFEROMETRIC TOUCH PROBE
(FR) SONDE TACTILE INTERFÉROMÉTRIQUE
Abrégé
(EN)
A touch probe for sensing the position of a surface, having a housing and a moving assembly supported within the housing and including a flexible reflective element, a spacer element, and a semitransparent element, wherein a reflective surface of the flexible reflective element and a surface of the semitransparent element opposing the reflective surface are separated by the spacer element, and a stylus connected to the flexible reflective element. The moving assembly and stylus are configured such that movement of the stylus responsive to a force on the stylus causes the flexible reflective element to flex and change distances between points on the reflective surface of the flexible reflective element and on the opposing surface of the semitransparent element. A coherent light source provides coherent light incident upon the semitransparent element and directed through the semitransparent element towards the reflective surface of the flexible reflective element, such that interference fringes are created dependent upon separation distances between the reflective surface of the reflective element and the opposing surface of the semitransparent element. A detector senses changes in the interference fringes patterns in response to flexing of the flexible element.
(FR)
La présente invention concerne une sonde tactile pour détecter la position d'une surface, ayant un boîtier et un ensemble mobile supporté à l'intérieur du boîtier et comprenant un élément réfléchissant flexible, un élément d'espacement et un élément semi-transparent, une surface réfléchissante de l'élément réfléchissant flexible et une surface de l'élément semi-transparent opposée à la surface réfléchissante étant séparées par l'élément d'espacement, ainsi qu'un stylet relié à l'élément réfléchissant flexible. L'ensemble mobile et le stylet sont conçus de sorte qu'un mouvement du stylet sensible à une force sur le stylet amène l'élément réfléchissant flexible à fléchir et à changer des distances entre des points sur la surface réfléchissante de l'élément réfléchissant flexible et sur la surface opposée de l'élément semi-transparent. Une source de lumière cohérente fournit une lumière cohérente incidente sur l'élément semi-transparent et dirigée à travers l'élément semi-transparent vers la surface réfléchissante de l'élément réfléchissant flexible, de sorte que des franges d'interférences soient créées en fonction des distances de séparation entre la surface réfléchissante de l'élément réfléchissant et la surface opposée de l'élément semi-transparent. Un détecteur détecte des changements dans les motifs de franges d'interférences en réponse à la flexion de l'élément flexible.
Également publié en tant que
JP2020530326
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