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1. WO2019075857 - PLAQUE DE MASQUE ET PROCÉDÉ POUR LA FABRIQUER

Numéro de publication WO/2019/075857
Date de publication 25.04.2019
N° de la demande internationale PCT/CN2017/113079
Date du dépôt international 27.11.2017
CIB
C23C 14/04 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
04Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
C23C 14/24 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
24Evaporation sous vide
H01L 51/56 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
51Dispositifs à l'état solide qui utilisent des matériaux organiques comme partie active, ou qui utilisent comme partie active une combinaison de matériaux organiques et d'autres matériaux; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de tels dispositifs ou de leurs parties constitutives
50spécialement adaptés pour l'émission de lumière, p.ex. diodes émettrices de lumière organiques (OLED) ou dispositifs émetteurs de lumière à base de polymères (PLED)
56Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de tels dispositifs ou de leurs parties constitutives
CPC
B05C 21/005
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
21Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
005Masking devices
C23C 14/042
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
042using masks
C23C 14/12
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
12Organic material
C23C 14/24
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
24Vacuum evaporation
C23C 16/042
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
042using masks
H01L 51/001
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
51Solid state devices using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of such devices, or of parts thereof
0001Processes specially adapted for the manufacture or treatment of devices or of parts thereof
0002Deposition of organic semiconductor materials on a substrate
0008using physical deposition, e.g. sublimation, sputtering
001Vacuum deposition
Déposants
  • 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS SEMICONDUCTOR DISPLAY TECHNOLOGY CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 姜亮 JIANG, Liang
  • 李金川 LI, Jinchuan
Mandataires
  • 深圳市德力知识产权代理事务所 COMIPS INTELLECTUAL PROPERTY OFFICE
Données relatives à la priorité
201710973499.818.10.2017CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) MASK PLATE AND METHOD FOR FABRICATING SAME
(FR) PLAQUE DE MASQUE ET PROCÉDÉ POUR LA FABRIQUER
(ZH) 掩膜板及其制作方法
Abrégé
(EN)
Provided are a mask plate and a method for fabricating same. A plurality of pairs of grooves (110) corresponding to a plurality of mask pieces (200) is arranged on a mask border frame (100); each mask piece (200) has a part coinciding with its corresponding pair of grooves (110), and is also provided with a plurality of pairs of lock fittings (300) corresponding to the plurality of mask pieces (200); each lock fitting (300) comprises a mating part (310) and a connecting part (320) arranged on each of the two sides of the mating part (310); the mating part (310) of the lock fitting (300) is fitted with the corresponding groove (110) to clamp the mask piece (200) to the coincident part of the groove (110); the connecting part (320) of the lock fitting (300) is detachably connected to the mask border frame (100), thus the plurality of mask pieces (200) are fixed to the mask border frame (100); when the mask plate is reprocessed, it is necessary only to detach the lock fitting (300) from the mask border frame (100) in order to separate the mask border frame (100) from the mask piece (200); therefore there is no need to grind and machine the mask border frame (100), reducing the complexity of reprocessing while also extending the service life of the mask border frame (100), which is advantageous to reducing product cost.
(FR)
L'invention concerne une plaque de masque et un procédé pour la fabriquer. Une pluralité de paires de rainures (110), correspondant à une pluralité de pièces de masque (200), sont disposées sur un cadre de bordure de masque (100) ; chaque pièce de masque (200) présente une partie coïncidant avec sa paire de rainures (110) correspondante et est également pourvue d'une pluralité de paires de ferrures de verrouillage (300) correspondant à la pluralité de pièces de masque (200) ; chaque ferrure de verrouillage (300) comprend une partie d'accouplement (310) et une partie de liaison (320) agencée sur chacun des deux côtés de la partie d'accouplement (310) ; la partie d'accouplement (310) de la ferrure de verrouillage (300) est ajustée à la rainure (110) correspondante pour serrer la pièce de masque (200) sur la partie coïncidente de la rainure (110) ; la partie de liaison (320) de la ferrure de verrouillage (300) est reliée de façon détachable au cadre de bordure de masque (100), ce qui fixe la pluralité de pièces de masque (200) au cadre de bordure de masque (100) ; lorsque la plaque de masque est retraitée, il suffit de détacher la ferrure de verrouillage (300) du cadre de bordure de masque (100) pour séparer le cadre de bordure de masque (100) de la pièce de masque (200) ; il n'est donc pas nécessaire de meuler et d'usiner le cadre de bordure de masque (100), ce qui réduit la complexité du retraitement tout en prolongeant la durée de vie du cadre de bordure de masque (100), ce qui est avantageux pour réduire le coût du produit.
(ZH)
一种掩膜板及其制作方法。在掩膜边框(100)上设置与多个掩膜片(200)对应的多对凹槽(110),每一掩膜片(200)均具有与其所对应的一对凹槽(110)重合的部分,同时设置与多个掩膜片(200)对应的多对锁紧配件(300),每一锁紧配件(300)均包括配合部(310)、及设于配合部(310)两侧的两个连接部(320),利用锁紧配件(300)的配合部(310)与对应的凹槽(110)配合将掩膜片(200)与凹槽(110)重合的部分夹紧,同时将锁紧配件(300)的连接部(320)与掩膜边框(100)可拆卸连接,从而将多个掩膜片(200)固定在掩膜边框(100)上,在对掩膜板进行重做制程时,仅需要将锁紧配件(300)从掩膜边框(100)上拆下,即可完成掩膜边框(100)与掩膜片(200)的分离,因此无需对掩膜边框(100)进行打磨加工,降低了重做制程的复杂程度,同时延长了掩膜边框(100)的使用寿命,有利于降低产品成本。
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