(EN) The purpose of the present invention is to provide a flow rate generation device with which it is possible to suppress noise emitted at low flow rates without increasing the device size. This flow rate generation device includes: a cylinder 2; a physical-quantity-detector mounting part 1 provided to the cylinder 2 for mounting a physical quantity detector 5; a first piston 3 provided to one end side of the cylinder 2 with respect to the physical-quantity-detector mounting part 1; a second piston 4 provided to the other end side of the cylinder 2 with respect to the physical-quantity-detector mounting part 1; and a drive device 11 for driving the first piston 3 and the second piston 4. The first piston 3 and the second piston 4 are driven such that the volume of the space formed between the first piston 3 and the second piston 4 inside the cylinder 2 does not change.
(FR) L'objet de la présente invention est de fournir un dispositif de génération de débit qui permette de supprimer du bruit émis à des débits faibles sans augmenter la taille de dispositif. Le présent dispositif de génération de débit comprend : un cylindre 2; une partie de montage 1 de détecteur de quantité physique disposée sur le cylindre 2 permettant de monter un détecteur de quantité physique 5; un premier piston 3 disposé d'un côté d'extrémité du cylindre 2 par rapport à la partie de montage 1 de détecteur de quantité physique; un second piston 4 disposé de l'autre côté d'extrémité du cylindre 2 par rapport à la partie de montage 1 de détecteur de quantité physique; et un dispositif d'entraînement 11 servant à entraîner le premier piston 3 et le second piston 4. Le premier piston 3 et le second piston 4 sont entraînés de sorte que le volume de l'espace formé entre le premier piston 3 et le second piston 4 à l'intérieur du cylindre 2 ne varie pas.
(JA) 本発明の目的は、装置の大型化を招くことなく、低流量時のノイズの発生を抑制できる流量発生装置を提供することにある。 シリンダ２と、シリンダ２に設けられ物理量検出装置５を搭載する物理量検出装置搭載部１と、物理量検出装置搭載部１に対してシリンダ２の一端側に設けられた第１ピストンと３、物理量検出装置搭載部１に対してシリンダ２の他端側に設けられた第２ピストン４と、第１ピストン３及び第２ピストン４を駆動する駆動装置１１と、を備え、第１ピストン３及び第２ピストン４はシリンダ２内において第１ピストン３と第２ピストン４との間に形成される空間の容積が変化しないように駆動される。