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1. WO2019051660 - ALIMENTATION RADIOFRÉQUENCE POUR L'AMÉLIORATION DE L’EFFICACITÉ D'UN AMPLIFICATEUR DE PUISSANCE RADIOFRÉQUENCE

Numéro de publication WO/2019/051660
Date de publication 21.03.2019
N° de la demande internationale PCT/CN2017/101524
Date du dépôt international 13.09.2017
CIB
H03F 1/32 2006.01
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
FAMPLIFICATEURS
1Détails des amplificateurs comportant comme éléments d'amplification uniquement des tubes à décharge, uniquement des dispositifs à semi-conducteurs ou uniquement des composants non spécifiés
32Modifications des amplificateurs pour réduire la distorsion non linéaire
CPC
H03F 1/32
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
FAMPLIFIERS
1Details of amplifiers with only discharge tubes, only semiconductor devices or only unspecified devices as amplifying elements
32Modifications of amplifiers to reduce non-linear distortion
Déposants
  • 北京泰龙电子技术有限公司 BEIJING TAILONG ELECTRONIC TECHNOLOGY CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 崔晨 CUI, Chen
  • 李勇滔 LI, Yongtao
  • 孙小孟 SUN, Xiaomeng
  • 李楠 LI, Nan
  • 赵丽莉 ZHAO, Lili
  • 夏洋 XIA, Yang
Mandataires
  • 北京华沛德权律师事务所 BEIJING BRIGHT & RIGHT LAW FIRM
Données relatives à la priorité
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) RADIO-FREQUENCY POWER SUPPLY FOR IMPROVING EFFICIENCY OF RADIO-FREQUENCY POWER AMPLIFIER
(FR) ALIMENTATION RADIOFRÉQUENCE POUR L'AMÉLIORATION DE L’EFFICACITÉ D'UN AMPLIFICATEUR DE PUISSANCE RADIOFRÉQUENCE
(ZH) 一种提高射频功率放大器效率的射频电源
Abrégé
(EN)
A radio-frequency power supply for improving the efficiency of a radio-frequency power amplifier (3), relating to the technical field of semiconductor process equipment. The radio-frequency power supply comprises: obtaining a radio-frequency signal by means of a radio-frequency signal generator (1); transmitting the radio-frequency signal to a radio-frequency power amplifier (3) by means of a front-end driver (2), and amplifying the radio-frequency signal and then outputting same; receiving, by means of a harmonic network (4), the radio-frequency signal output by the radio-frequency power amplifier (3) so as to suppress a harmonic; receiving, by means of a matching network (5), the radio-frequency signal output by the harmonic network (4), and then outputting the radio-frequency signal; and receiving the radio-frequency signal by means of a radio-frequency power detector (6), after detecting the radio-frequency signal, outputting the radio-frequency signal, and respectively delivering a current to the modules by means of a power supply line (7). The present invention solves the technical problems in the prior art of the radio-frequency power amplifier (3) being inefficient and harmonic component interference easily occurring, and achieves the technical effects of greatly improving the efficiency of the radio-frequency power amplifier (3) and reducing harmonic distortion.
(FR)
L'invention concerne une alimentation radiofréquence pour l'amélioration de l'efficacité d'un amplificateur de puissance radiofréquence (3), se rapportant au domaine technique de l'équipement de traitement de semi-conducteurs. L'alimentation électrique radiofréquence comprend les étapes consistant à : obtenir un signal radiofréquence au moyen d'un générateur de signal radiofréquence (1) ; émettre le signal radiofréquence vers un amplificateur de puissance radiofréquence (3) au moyen d'un pilote d'extrémité avant (2), et amplifier le signal radiofréquence puis le délivrer ; recevoir, au moyen d'un réseau harmonique (4), le signal radiofréquence délivré par l'amplificateur de puissance radiofréquence (3) de manière à supprimer une harmonique ; recevoir, au moyen d'un réseau d'adaptation (5), le signal radiofréquence délivré par le réseau harmonique (4), puis délivrer le signal radiofréquence ; et recevoir le signal radiofréquence au moyen d'un détecteur de puissance radiofréquence (6), après détection du signal radiofréquence, délivrer le signal radiofréquence et délivrer respectivement un courant aux modules au moyen d'une ligne d'alimentation électrique (7). La présente invention résout les problèmes techniques de l'état de la technique selon lesquels l'amplificateur de puissance radiofréquence (3) est inefficace et une interférence de composantes harmoniques se produit facilement, et permet d'obtenir les effets techniques d'amélioration considérable de l'efficacité de l'amplificateur de puissance radiofréquence (3) et de réduction de la distorsion harmonique.
(ZH)
一种提高射频功率放大器(3)效率的射频电源,涉及半导体工艺设备技术领域,所述射频电源包括:通过射频信号发生器(1)获得射频信号;所述射频信号通过前端驱动器(2)发射给射频功率放大器(3),将所述射频信号放大后输出;通过谐波网络(4)接收所述射频功率放大器(3)输出的所述射频信号,对谐波进行抑制;通过匹配网络(5)接收所述谐波网络(4)输出的所述射频信号后,将所述射频信号输出;通过射频功率检测器(6)接收所述射频信号,对所述射频信号进行检测后,将所述射频信号输出,通过供电线路(7)分别向上述模块输送电流。解决了现有技术中射频功率放大器(3)的效率低下,易出现谐波分量干扰的技术问题,达到了大幅提高射频功率放大器(3)的效率,降低谐波失真的技术效果。
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