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1. (WO2019031453) DISPOSITIF D'EXPOSITION À PHOTO-ALIGNEMENT
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N° de publication : WO/2019/031453 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/029427
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 06.08.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,G02F 1/13 (2006.01) ,G02F 1/1337 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
F
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES DONT LE FONCTIONNEMENT OPTIQUE EST MODIFIÉ PAR CHANGEMENT DES PROPRIÉTÉS OPTIQUES DU MILIEU CONSTITUANT CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES ET DESTINÉS À LA COMMANDE DE L'INTENSITÉ, DE LA COULEUR, DE LA PHASE, DE LA POLARISATION OU DE LA DIRECTION DE LA LUMIÈRE, p.ex. COMMUTATION, OUVERTURE DE PORTE, MODULATION OU DÉMODULATION; TECHNIQUES NÉCESSAIRES AU FONCTIONNEMENT DE CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES; CHANGEMENT DE FRÉQUENCE; OPTIQUE NON LINÉAIRE; ÉLÉMENTS OPTIQUES LOGIQUES; CONVERTISSEURS OPTIQUES ANALOGIQUES/NUMÉRIQUES
1
Dispositifs ou systèmes pour la commande de l'intensité, de la couleur, de la phase, de la polarisation ou de la direction de la lumière arrivant d'une source de lumière indépendante, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation; Optique non linéaire
01
pour la commande de l'intensité, de la phase, de la polarisation ou de la couleur
13
basés sur des cristaux liquides, p.ex. cellules d'affichage individuelles à cristaux liquides
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
F
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES DONT LE FONCTIONNEMENT OPTIQUE EST MODIFIÉ PAR CHANGEMENT DES PROPRIÉTÉS OPTIQUES DU MILIEU CONSTITUANT CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES ET DESTINÉS À LA COMMANDE DE L'INTENSITÉ, DE LA COULEUR, DE LA PHASE, DE LA POLARISATION OU DE LA DIRECTION DE LA LUMIÈRE, p.ex. COMMUTATION, OUVERTURE DE PORTE, MODULATION OU DÉMODULATION; TECHNIQUES NÉCESSAIRES AU FONCTIONNEMENT DE CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES; CHANGEMENT DE FRÉQUENCE; OPTIQUE NON LINÉAIRE; ÉLÉMENTS OPTIQUES LOGIQUES; CONVERTISSEURS OPTIQUES ANALOGIQUES/NUMÉRIQUES
1
Dispositifs ou systèmes pour la commande de l'intensité, de la couleur, de la phase, de la polarisation ou de la direction de la lumière arrivant d'une source de lumière indépendante, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation; Optique non linéaire
01
pour la commande de l'intensité, de la phase, de la polarisation ou de la couleur
13
basés sur des cristaux liquides, p.ex. cellules d'affichage individuelles à cristaux liquides
133
Dispositions relatives à la structure; Excitation de cellules à cristaux liquides; Dispositions relatives aux circuits
1333
Dispositions relatives à la structure
1337
Orientation des molécules des cristaux liquides induite par les caractéristiques de surface, p.ex. par des couches d'alignement
Déposants :
株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai-shi, Osaka 5908522, JP
Inventeurs :
吉田 祐治 YOSHIDA Yuji; JP
池田 聡 IKEDA Satoshi; JP
新井 敏成 ARAI Toshinari; JP
三宅 敢 MIYAKE Isamu; JP
片山 崇 KATAYAMA Takashi; JP
平井 明 HIRAI Akira; JP
Mandataire :
特許業務法人 英知国際特許事務所 EICHI PATENT & TRADEMARK CORP.; 東京都文京区千石4丁目45番13号 45-13, Sengoku 4-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1120011, JP
Données relatives à la priorité :
2017-15440909.08.2017JP
Titre (EN) PHOTO-ALIGNING EXPOSURE DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION À PHOTO-ALIGNEMENT
(JA) 光配向用露光装置
Abrégé :
(EN) The purpose of the present invention is to provide a photo-aligning exposure device which performs diagonal exposure in order to develop a pretilt angle, wherein an inexpensive scattering light source (volume light source) can be used and a uniform illuminance distribution can be obtained with a compact configuration. This photo-aligning exposure device (1) that performs a photo-alignment process by scanning and exposing, in one direction, a surface to be illuminated, is provided with: a light source (2) which emits scattered light toward a surface (10S) to be illuminated; an optical filter (3) which selectively emits ultraviolet rays in the light emitted from the light source (2); and an irradiation angle restriction member (4) which selectively emits light applied diagonally relative to the scanning direction, among light emitted from the optical filter (3), wherein the irradiation angle restriction member (4) has a plurality of flat-plate-shaped light direction restriction plates (40) that are arrayed at predetermined intervals along the scanning direction so as to be parallel to each other and tilted at a certain angle relative to the surface (10S) to be illuminated.
(FR) L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif d'exposition à photo-alignement qui effectue une exposition diagonale afin de développer un angle de pré-inclinaison, une source de lumière de diffusion peu coûteuse (source de lumière de volume) pouvant être utilisée et une distribution d'éclairage uniforme pouvant être obtenue avec une configuration compacte. Ce dispositif d'exposition à photo-alignement (1) qui effectue un processus de photo-alignement par balayage et exposition, dans une direction, d'une surface à éclairer, comprend: une source de lumière (2) qui émet une lumière diffusée vers une surface (10S) à éclairer; un filtre optique (3) qui émet sélectivement des rayons ultraviolets dans la lumière émise depuis la source de lumière (2); et un élément de restriction d'angle d'irradiation (4) qui émet sélectivement de la lumière appliquée en diagonale par rapport à la direction de balayage, parmi la lumière émise à partir du filtre optique (3), l'élément de restriction d'angle d'irradiation (4) ayant une pluralité de plaques de restriction de direction de lumière en forme de plaque plane (40) qui sont disposées en réseau à des intervalles prédéterminés le long de la direction de balayage de façon à être parallèles les unes aux autres et inclinées selon un certain angle par rapport à la surface (10S) à éclairer.
(JA) プレチルト角を発現させるために斜め露光を行う光配向用露光装置において、安価な散乱光源(体積光源)を用いることができると共に、コンパクトな形態で均一な照度分布を得る。被照射面に対して一方向に走査露光を行うことで光配向処理を行う光配向用露光装置(1)は、被照射面(10S)に向けて散乱光を出射する光源(2)と、光源(2)から出射された光のうち、紫外線を選択的に出射する光学フィルタ(3)と、光学フィルタ(3)から出射された光のうち、走査方向に対して斜めに照射される光を選択的に出射する照射角度制限部材(4)とを備え、照射角度制限部材(4)は、平板状の光方向制限板(40)を、被照射面(10S)に対して一定の角度で傾斜させ、走査方向に沿って設定間隔で複数平行配列させている。
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)