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1. (WO2018205361) APPAREIL DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR

Pub. No.:    WO/2018/205361    International Application No.:    PCT/CN2017/089609
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jun 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/24
C23C 14/04
Applicants: WUHAN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD
武汉华星光电技术有限公司
Inventors: XIA, Cunjun
夏存军
ZOU, Xin
邹新
Title: APPAREIL DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
Abstract:
L'invention concerne un appareil de dépôt en phase vapeur, comprenant une chambre principale (11) et au moins une chambre secondaire (10) en communication avec la chambre principale (11) au moyen d'une vanne ; la chambre secondaire (10) comprend une plateforme d'aspiration (2), un tube d'aspiration (7) et un élément de fixation (8) ; lors de l'exécution d'un dépôt en phase vapeur sur un substrat (9) destiné à recevoir un dépôt en phase vapeur, le tube d'aspiration (7) fixe le substrat (9) destiné à recevoir le dépôt en phase vapeur à la plateforme d'aspiration (2) au moyen de l'élément de fixation (8) et de la plateforme d'aspiration (2) ; le substrat (9) destiné à recevoir un dépôt en phase vapeur est aligné avec une plaque de masquage (5) ; et le substrat (9) destiné à recevoir un dépôt en phase vapeur et la plaque de masquage (5) sont fixés au moyen de l'élément de fixation (8).