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1. (WO2018200666) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE FOURNITURE DE GETTERS DANS DES SYSTÈMES MICROÉLECTROMÉCANIQUES

Pub. No.:    WO/2018/200666    International Application No.:    PCT/US2018/029346
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Apr 26 01:59:59 CEST 2018
IPC: B81B 7/00
B81B 3/00
B81B 7/02
Applicants: INVENSENSE, INC.
Inventors: LEE, Daesung
HUANG, Jeff Chunchieh
SHIN, Jongwoo
KIM, Bongsang
VEERAYEH JAYARAMAN, Logeeswaran
Title: SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE FOURNITURE DE GETTERS DANS DES SYSTÈMES MICROÉLECTROMÉCANIQUES
Abstract:
La présente invention concerne des systèmes et des procédés qui fournissent un getter dans un système micromécanique. Dans certains modes de réalisation, un système microélectromécanique (MEMS) est lié à un substrat. Une première cavité et une seconde cavité sont disposées entre le MEMS et le substrat. Un premier getter est disposé sur le substrat dans la première cavité et associé à une électrode. Un second getter est disposé dans la première cavité sur une couche de passivation sur le substrat. Dans certains modes de réalisation, la première cavité est une cavité de gyroscope, et la seconde cavité est une cavité d'accéléromètre.