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1. (WO2018198335) DISPOSITIF D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON

Pub. No.:    WO/2018/198335    International Application No.:    PCT/JP2017/017007
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: G02B 21/00
Applicants: OLYMPUS CORPORATION
オリンパス株式会社
Inventors: SUZUKI Yoshimasa
鈴木良政
Title: DISPOSITIF D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif d'observation d'échantillon pouvant acquérir des images d'échantillon à contraste élevé tout en étant défocalisé. Ce dispositif d'observation 100 d'échantillon comprend un système optique d'éclairage 110, un système optique d'observation 120 et un porte-échantillon 6. Le système optique d'éclairage 110 comprend une lentille de condenseur 4 et un élément d'ouverture 5. Le système optique d'observation 120 comprend une lentille d'objectif 8, un élément de gradation 14 et une lentille de focalisation 10. L'élément d'ouverture 5 est disposé à l'emplacement de la pupille du système optique d'éclairage 110 ou à un emplacement conjugué à la pupille du système optique d'éclairage 110. L'élément de gradation 14 est disposé à un emplacement conjugué à la pupille du système optique d'observation 120. L'élément d'ouverture 5 présente une zone d'ouverture 5a. L'élément de gradation 14 présente une zone de gradation 14a. Un mécanisme de commande 16 déplace le porte-échantillon 6 et/ou le système optique d'observation 120 pour amener celui-ci dans un premier état prescrit. Dans le premier état prescrit, la position d'un échantillon 7 et la position de focalisation du système optique d'observation 120 ne coïncident pas.