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1. (WO2018196630) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE DE GROUPE DE CAPTEURS ET STRUCTURE DE GROUPE DE CAPTEURS

Pub. No.:    WO/2018/196630    International Application No.:    PCT/CN2018/082936
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 14 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/56
H01L 21/60
H01L 23/31
H01L 23/488
Applicants: MICROARRAY MICROELECTRONICS CORP., LTD
苏州迈瑞微电子有限公司
Inventors: LI, Yangyuan
李扬渊
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE DE GROUPE DE CAPTEURS ET STRUCTURE DE GROUPE DE CAPTEURS
Abstract:
L’invention concerne un procédé de fabrication de structure de groupe de capteurs et une structure de groupe de capteurs. Le procédé de fabrication de structure de groupe de capteurs consiste : à réaliser une puce (1), un circuit fonctionnel étant formé sur une première surface (111) de la puce (11) ; à former des billes (113) sur une deuxième surface (112) de la puce (11) opposée à la première surface (111), les billes (113) étant connectées électriquement au circuit fonctionnel ; à fixer la première surface (111) de la puce (11) à une première surface (121) d’une partie de protection (12) ; à former une couche de conditionnement (14) au-dessus de la première surface (121) de la partie de protection (12), la couche de conditionnement (14) recouvrant la puce (11) ; à amincir la couche de conditionnement (14) distante de la première surface (121) de la partie de protection et les billes (113) pour former des pastilles (15), les pastilles (15) formées étant des zones partielles qui découvrent les billes (113). La solution technique peut réduire la difficulté du processus, résoudre le problème de raclage d’une structure de groupe de capteurs en raison de l’éclair généré par le moulage ouvert, et améliorer le rendement de groupes de capteurs.