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1. (WO2018196319) PHOTORÉSINE À NANOPOINTS DE CARBONE À EFFET FLUORESCENT, ET SON PROCÉDÉ D'IMAGERIE
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N° de publication : WO/2018/196319 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/109454
Date de publication : 01.11.2018 Date de dépôt international : 06.11.2017
CIB :
G03F 7/038 (2006.01) ,G03F 7/42 (2006.01) ,C09K 11/65 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
004
Matériaux photosensibles
038
Composés macromoléculaires rendus insolubles ou sélectivement mouillables
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
26
Traitement des matériaux photosensibles; Appareillages à cet effet
42
Elimination des réserves ou agents à cet effet
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
09
COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
K
SUBSTANCES POUR DES APPLICATIONS NON PRÉVUES AILLEURS; APPLICATIONS DE SUBSTANCES NON PRÉVUES AILLEURS
11
Substances luminescentes, p.ex. électroluminescentes, chimiluminescentes
08
contenant des substances inorganiques luminescentes
65
contenant du carbone
Déposants :
苏州大学 SOOCHOW UNIVERSITY [CN/CN]; 中国江苏省苏州市 相城区济学路8号 No.8 Jixue Road, Xiangcheng District Suzhou, Jiangsu 215137, CN
Inventeurs :
陈高健 CHEN, Gaojian; CN
翁雨燕 WENG, Yuyan; CN
李志运 LI, Zhiyun; CN
Mandataire :
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) SUZHOU FLY PATENT AGENCY (GENERAL PARTERNERSHIP); 中国江苏省苏州 吴中区木渎镇金枫路216号2幢 金星东创科技园C号楼816室陆金星 Lu Jinxing, Room 816, Building C, 2 Blocks East Technology Park No.216 Jinfeng Road, Mudu Town, Wuzhong Suzhou, Jiangsu 215000, CN
Données relatives à la priorité :
201710288631.127.04.2017CN
Titre (EN) CARBON NANO-DOT PHOTORESIST WITH FLUORESCENT EFFECT, AND IMAGING METHOD THEREOF
(FR) PHOTORÉSINE À NANOPOINTS DE CARBONE À EFFET FLUORESCENT, ET SON PROCÉDÉ D'IMAGERIE
(ZH) 具有荧光效应的碳纳米点光刻胶及其成像方法
Abrégé :
(EN) A carbon nano-dot photoresist with a fluorescent effect, and an imaging method thereof, the photosensitive resin being a sugar-containing polymer, the controllable carbonisation and self-crosslinking effect of same in a certain electron beam exposure dose range being used to prepare carbon nano-dots having nano-scale precision positioning, and the fluorescent properties of same under illumination of specific wavelengths being used to implement fluorescence development and other applications. Water is the only solvent used, having the characteristic of being environmentally friendly, and fluorescent carbon nano-dots with any nano pattern can be formed at any specified position, resolving the two problems of fluorescent particle preparation and nano-scale precision positioning, and having wide scope for application in semiconductor manufacturing and the biological field.
(FR) L'invention concerne une photorésine à nanopoints de carbone ayant un effet fluorescent, et son procédé d'imagerie, la résine photosensible étant un polymère contenant du sucre, son effet réglable de carbonisation et d'auto-réticulation dans une certaine plage de dose d'exposition de faisceau d'électrons étant utilisé pour préparer des nanopoints de carbone ayant un positionnement de précision nanométrique, et ses propriétés fluorescentes sous éclairage de longueurs d'onde spécifiques étant utilisées pour mettre en œuvre un développement de fluorescence et d'autres applications. L'eau est le seul solvant utilisé, ce qui rend l'invention respectueuse de l'environnement, et des nanopoints de carbone fluorescents ayant n'importe quel nanomotif peuvent être formés à n'importe quelle position spécifiée, résolvant les deux problèmes de préparation de particules fluorescentes et de positionnement de précision de nanoéchelle, et ayant une large portée destinée à une application dans la fabrication de semi-conducteurs et le champ biologique.
(ZH) 具有荧光效应的碳纳米点光刻胶及其成像方法,所述感光树脂为含糖聚合物,利用其在一定电子束曝光剂量范围内的可控碳化及自交联作用,实现具有纳米尺度精确定位的碳纳米点制备,在特定波长光照下具有荧光特性,实现荧光显影及其他应用。水是其中唯一使用的溶剂,具有绿色环保的特点,同时可在任意指定位置形成具有任意纳米图案的荧光碳纳米点,一步解决荧光粒子制备与纳米尺度精确定位两个问题,在半导体制造以及生物领域具广泛的应用前景。
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)