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1. (WO2018182504) SYSTÈME DE FABRICATION DE MICRODISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2018/182504    International Application No.:    PCT/SG2017/050181
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/02
Applicants: NEITAS PTE. LTD.
Inventors: YOSHIDA, Masataka
DEGUCHI, Yasunori
Title: SYSTÈME DE FABRICATION DE MICRODISPOSITIF
Abstract:
La présente invention à pour objectif de fournir un procédé de fabrication efficace d'un microdispositif avec un faible investissement dans un environnement dans lequel des mesures de prévention de poussière sont effectuées. Dans un environnement où n (n est une valeur entière arbitraire supérieure ou égale à deux) dispositifs de fabrication de microdispositif effectuent un traitement dans une ou plusieurs étapes prédéterminées parmi une pluralité d'étapes de fabrication d'un type prédéterminé de microdispositif ayant un substrat d'une taille prédéterminée en tant qu'une unité, un dispositif de transport (4) transporte, dans les n dispositifs de fabrication de microdispositif, à partir d'un premier dispositif de fabrication de microdispositif qui complète la performance de traitement sur une unité prédéterminée vers un second dispositif de fabrication de microdispositif qui peut effectuer un traitement dans l'étape suivante, l'unité prédéterminée. Un tunnel propre (6) protège la partie de transport d'une partie extérieure non propre de telle sorte que l'unité prédéterminée est transportée dans une partie propre.