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1. (WO2018179068) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE POSITION DE CENTRE DE GRAVITÉ DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME

Pub. No.:    WO/2018/179068    International Application No.:    PCT/JP2017/012450
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
H05G 2/00
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: NISHIMURA, Yuichi
西村 祐一
UENO, Yoshifumi
植野 能史
YABU, Takayuki
薮 隆之
Title: DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE POSITION DE CENTRE DE GRAVITÉ DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME
Abstract:
Cette invention concerne un dispositif de génération de rayonnement UV extrême, comprenant : une pluralité de capteurs de rayonnement UV extrême qui mesurent, à partir de directions mutuellement différentes, l'énergie du rayonnement UV extrême généré par irradiation d'une lumière laser sur une cible (27) fournie dans une région prescrite dans une chambre (2); une unité de réglage de position d'irradiation (7) qui règle la position d'irradiation de la lumière laser sur la cible fournie dans la région prescrite; et une unité de commande (8) qui commande, sur la base des résultats de mesure de la pluralité de capteurs de rayonnement UV extrême, l'unité de réglage de position d'irradiation (7) de telle sorte que la position du centre de gravité du rayonnement UV extrême spécifié se trouve dans la position cible de centre de gravité. L'unité de commande (8) corrige la position cible de centre de gravité sur la base de : la pluralité de positions de centre de gravité du rayonnement UV extrême obtenues sur la base de l'énergie du rayonnement UV extrême mesurée par la pluralité de capteurs de rayonnement UV extrême; et de paramètres se rapportant à l'énergie de mesure du rayonnement UV extrême correspondant à la pluralité de positions de centre de gravité du rayonnement UV extrême.