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1. (WO2018177764) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PUCES DE DIODE ÉLECTROLUMINESCENTE ET PUCE DE DIODE ÉLECTROLUMINESCENTE

Pub. No.:    WO/2018/177764    International Application No.:    PCT/EP2018/056558
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 33/00
H01L 33/22
H01L 33/32
Applicants: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventors: DRAGO, Massimo
FREY, Alexander
HERTKORN, Joachim
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PUCES DE DIODE ÉLECTROLUMINESCENTE ET PUCE DE DIODE ÉLECTROLUMINESCENTE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication de puces de diode électroluminescente qui comprend les étapes suivantes : A) fournir un substrat de croissance (1), C) réaliser une couche structurelle (3), pourvue en particulier d'une pluralité d'éléments structurels pyramidaux (33), la couche structurelle (3) étant constituée de A1x1Ga1-x1-y1Iny1N avec yl ≥ 0,5, D) réaliser une couche de recouvrement (4) sur la couche structurelle (3), la couche de recouvrement (4) reproduisant la forme de la couche structurelle (3) et étant constituée de A1x2Ga1-x2-y2Iny2N avec x2 ≥ 0,6, E) réaliser une couche de planarisation (5) sur la couche de recouvrement (4), un côté, opposé au substrat de croissance (1), de la couche de planarisation fini (5) étant plan et la couche de planarisation (5) étant constitué de A1x3Ga1-x3-y3lny3N avec x3 + y3 ≥ 0,2 et F) faire croître une succession de couches fonctionnelles (7) pour générer un rayonnement sur la couche de planarisation (5).