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1. (WO2018176549) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE RÉSISTANCE SENSIBLE AU GAZ, ET CAPTEUR DE GAZ FABRIQUÉ AU MOYEN DE CE PROCÉDÉ

Pub. No.:    WO/2018/176549    International Application No.:    PCT/CN2017/082347
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 27/14
Applicants: SHANGHAI SENSYLINK MICROELECTRONICS CO., LTD.
上海申矽凌微电子科技有限公司
Inventors: LAI, John Jianwen
赖建文
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE RÉSISTANCE SENSIBLE AU GAZ, ET CAPTEUR DE GAZ FABRIQUÉ AU MOYEN DE CE PROCÉDÉ
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'une résistance sensible au gaz et un capteur de gaz fabriqué au moyen du procédé. Le procédé comprend les étapes suivantes : étape 1, fabrication d'une cavité de silicium creuse (8) sur le côté arrière d'une tranche de silicium (1) au moyen d'un procédé de gravure en deux étapes ; étape 2, fabrication simultanée d'une résistance chauffante (16) et d'électrodes (11, 12, 13) de mesure de résistance, sensibles au gaz, sur le côté avant de la tranche de silicium (1) par utilisation de la même couche métallique (6) ; et étape 3, fabrication des électrodes de la résistance sensible au gaz et de la résistance chauffante (16) sur le côté avant de la tranche de silicium (1). Selon le procédé de fabrication d'une résistance sensible au gaz, un procédé de gravure en deux étapes, sèche et humide, est utilisé et ainsi, l'efficacité et la qualité de gravure sont considérablement améliorées. Au moyen du processus technologique, une couche de câblage métallique peut servir à obtenir à la fois la fonction de chauffage et la fonction de test de résistance de la résistance sensible au gaz, et le processus est simplifié. Une structure de Kelvin à quatre extrémités sert à mesurer un matériau sensible au gaz, et la variation de résistivité électrique du matériau peut être mesurée avec précision. Un procédé de décollement sert à fabriquer la résistance sensible au gaz et un fil d'aluminium, et de multiples unités de capteur constituées d'un matériau sensible au gaz peuvent être fabriquées indépendamment. De plus, le procédé est compatible avec un procédé de câblage de métal aluminium-cuivre à faible coût.