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1. (WO2018167011) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DIODES ÉLECTROLUMINESCENTES ET DIODE ÉLECTROLUMINESCENTE

Pub. No.:    WO/2018/167011    International Application No.:    PCT/EP2018/056158
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 14 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 33/22
Applicants: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventors: GALLER, Bastian
OFF, Jürgen
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DIODES ÉLECTROLUMINESCENTES ET DIODE ÉLECTROLUMINESCENTE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication de diodes électroluminescentes qui comprend les étapes suivantes, dans l'ordre indiqué : A) croissance d'une couche N (22) à conduction N, B) croissance d'une zone active (23) destinée à générer un rayonnement ultraviolet, C) croissance d'une couche P (24) à conduction P, D) génération d'une couche de contact en semiconducteur (25) à conduction P ayant une épaisseur variable et comprenant une pluralité de maximums d'épaisseur (4) directement sur la couche P (24), et E) application d'une couche d'électrode (3) à conduction ohmique directement sur la couche de contact en semiconducteur (25). La couche N (22) et la zone active (23) sont respectivement à base d'AlGaN et la couche P (24) est à base d'AlGaN ou d'InGaN et la couche de contact en semiconducteur (25) est une couche en GaN. Vus de dessus, les maximums d'épaisseur (4) présentent une concentration surfacique minimale de 104/cm2.