Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2018158394) DISPOSITIF POUR APPLIQUER, SUR UN SUBSTRAT, UN MILIEU LIQUIDE EXPOSÉ À UN RAYONNEMENT UV
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/158394 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/055103
Date de publication : 07.09.2018 Date de dépôt international : 01.03.2018
CIB :
B08B 3/10 (2006.01) ,B08B 7/00 (2006.01) ,G03F 1/82 (2012.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
[IPC code unknown for B08B 3/10][IPC code unknown for B08B 7][IPC code unknown for G03F 1/82][IPC code unknown for H01L 21/67]
Déposants :
SÜSS MICROTEC PHOTOMASK EQUIPMENT GMBH & CO. KG [DE/DE]; Ferdinand-von-Steinbeis-Ring 10 75447 Sternenfels, DE
Inventeurs :
DRESS, Peter; DE
DIETZE, Uwe; DE
GRABITZ, Peter; DE
Mandataire :
WIMMER, Hubert G.; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 203 351.701.03.2017DE
Titre (EN) DEVICE FOR APPLYING TO A SUBSTRATE A LIQUID MEDIUM WHICH IS EXPOSED TO UV RADIATION
(FR) DISPOSITIF POUR APPLIQUER, SUR UN SUBSTRAT, UN MILIEU LIQUIDE EXPOSÉ À UN RAYONNEMENT UV
(DE) VORRICHTUNG ZUM AUFBRINGEN EINES MIT UV-STRAHLUNG BEAUFSCHLAGTEN FLÜSSIGEN MEDIUMS AUF EIN SUBSTRAT
Abrégé :
(EN) The invention relates to a device (1) for applying to a substrate (2) a liquid medium which is exposed to UV radiation. The device (1) has the following: a housing (114, 14) having an elongate chamber (122, 22), having at least one inlet opening which opens towards the chamber (122, 22) and having a slot-shaped outlet opening (21) which is situated opposite the at least one inlet opening and which extends over the length of the chamber (122, 22); a tubular element (180, 30) which extends through the chamber (122, 22) in the longitudinal direction and which is at least partially transparent to UV radiation, the tubular element (180, 30) being arranged in the chamber (122, 22) such that a flow area (184) is formed between the tubular element (180, 30) and the wall of the chamber (122, 22), said flow area being symmetrical with respect to a longitudinal central plane of the chamber (122, 22), which centrally intersects the outlet opening (21), and such that the tubular element (180, 30) extends into the slot-shaped outlet opening (21) in the housing (114, 14) and, in so doing, forms two outlet slots (186, 37) extending in the longitudinal direction, between the tubular element (180, 30) and the housing (114, 14); and at least one UV radiation source in the tubular element (180, 30), said at least one UV radiation source being arranged to emit UV radiation in the direction of the flow area and out of the housing (114, 14) through the outlet opening (21) in order to generate radicals in the liquid and bring them to the surface of the substrate (2). The device (1) is characterised by means for adjusting the radiation emanating through the outlet opening (21) through the tubular element (180, 30) such that the radiation intensity increases towards the longitudinal central planes of the chamber (122, 22).
(FR) L'invention concerne un dispositif (1) pour appliquer, sur un substrat (2), un milieu liquide exposé à un rayonnement UV. Le dispositif (1) selon l’invention comprend : un boîtier (114, 14) comportant une chambre (122, 22) allongée, au moins une ouverture d’entrée qui s'ouvre vers la chambre (122, 22) et une ouverture de sortie (21) en forme de fente, qui est opposée à l’ouverture ou aux ouvertures d’entrée et qui s’étend sur la longueur de la chambre (122, 22), un élément tubulaire (180, 30) qui s’étend dans la direction longitudinale à travers la chambre (122, 22) et qui est transparent au moins partiellement au rayonnement UV, cet élément tubulaire (180, 30) étant disposé dans la chambre (122, 22) de manière qu’entre l’élément tubulaire (180, 30) et la paroi de la chambre (122, 22) soit formé un espace d’écoulement (184) symétrique par rapport à un plan médian longitudinal de la chambre (122, 22) coupant l’ouverture de sortie (21) au milieu et que l’élément tubulaire (180, 30) s’étende dans l’ouverture de sortie (21) en forme de fente dans le boîtier (114, 14) et forme ainsi, entre l’élément tubulaire (180, 30) et le boîtier (114, 14), deux fentes de sortie (186, 37) s’étendant dans la direction longitudinale, et au moins une source de rayonnement UV dans l’élément tubulaire (180, 30) disposée pour émettre un rayonnement UV en direction de l’espace d’écoulement et à travers l’ouverture de sortie (21) vers l’extérieur du boîtier (114, 14), pour générer des radicaux dans le liquide et les mener jusqu’à la surface du substrat (2). Le dispositif (1) selon l’invention est caractérisé en ce qu’il comprend des moyens pour réguler le rayonnement sortant par l’ouverture de sortie (21) à travers l’élément tubulaire (180, 30), de manière l'intensité du rayonnement augmente en direction du plan médian longitudinal de la chambre (122, 22).
(DE) Es ist eine Vorrichtung (1) zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat (2) offenbart. Die Vorrichtung (1) weist folgendes auf: ein Gehäuse (114, 14), mit einer langgestreckten Kammer (122, 22), wenigstens einer Einlassöffnung, die sich zur Kammer (122, 22) hin öffnet und einer der wenigstens einen Einlassöffnung gegenüberliegenden, schlitzförmigen Auslassöffnung (21), die sich über die Länge der Kammer (122, 22) erstreckt, ein sich in Längsrichtung durch die Kammer (122, 22) erstreckendes Rohrelement (180, 30), das wenigstens teilweise für UV-Strahlung transparent ist, wobei das Rohrelement (180, 30) derart in der Kammer (122, 22) angeordnet ist, dass zwischen dem Rohrelement (180, 30) und der Wand der Kammer (122, 22) ein Strömungsraum (184) gebildet wird, der bezüglich einer Längsmittelebene der Kammer (122, 22), die die Auslassöffnung (21) mittig schneidet, symmetrisch ist, und dass sich das Rohrelement (180, 30) in die schlitzförmige Auslassöffnung (21) im Gehäuse (114, 14) erstreckt und dabei zwei in Längsrichtung erstreckende Austrittsschlitze (186, 37) zwischen Rohrelement (180, 30) und Gehäuse (114, 14) bildet, und wenigstens eine UV-Strahlungsquelle im Rohrelement (180, 30), die angeordnet ist, um UV-Strahlung in Richtung des Strömungsraumes und durch die Auslassöffnung (21) aus dem Gehäuse (114, 14) heraus zu emittieren, um Radikale in der Flüssigkeit zu erzeugen und auf die Oberfläche des Substrat (2) zu bringen. Die Vorrichtung (1) istgekennzeichnetdurch Mittel zum Einstellen der durch die Auslassöffnung (21) durch das Rohrelement (180, 30) austretenden Strahlung derart, dass die Strahlungsintensität zur Längsmittelebenen der Kammer (122, 22) hin zunimmt.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)