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1. (WO2018146869) MASQUE DE DÉPÔT
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N° de publication : WO/2018/146869 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/039056
Date de publication : 16.08.2018 Date de dépôt international : 30.10.2017
CIB :
C23C 14/04 (2006.01) ,H01L 51/50 (2006.01) ,H05B 33/10 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
04
Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
51
Dispositifs à l'état solide qui utilisent des matériaux organiques comme partie active, ou qui utilisent comme partie active une combinaison de matériaux organiques et d'autres matériaux; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de tels dispositifs ou de leurs parties constitutives
50
spécialement adaptés pour l'émission de lumière, p.ex. diodes émettrices de lumière organiques (OLED) ou dispositifs émetteurs de lumière à base de polymères (PLED)
H ÉLECTRICITÉ
05
TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
B
CHAUFFAGE ÉLECTRIQUE; ÉCLAIRAGE ÉLECTRIQUE NON PRÉVU AILLEURS
33
Sources de lumière électroluminescentes
10
Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des sources de lumière électroluminescentes
Déposants :
株式会社ジャパンディスプレイ JAPAN DISPLAY INC. [JP/JP]; 東京都港区西新橋三丁目7番1号 3-7-1, Nishi-shinbashi, Minato-ku, Tokyo 1050003, JP
Inventeurs :
小野 敬亮 ONO, Keisuke; JP
武田 篤 TAKEDA, Atsushi; JP
山田 哲行 YAMADA, Tetsuyuki; JP
成谷 元嗣 NARIYA, Mototsugu; JP
為川 貢 TAMEKAWA, Mitsugu; JP
大河原 健 OOKAWARA, Takeshi; JP
平坂 直人 HIRASAKA, Naoto; JP
渡辺 大樹 WATANABE, Taiki; JP
Mandataire :
特許業務法人はるか国際特許事務所 HARUKA PATENT & TRADEMARK ATTORNEYS; 東京都千代田区六番町3 六番町SKビル5階 Rokubancho SK Bldg. 5th Floor, 3, Rokubancho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020085, JP
Données relatives à la priorité :
2017-02287510.02.2017JP
Titre (EN) DEPOSITION MASK
(FR) MASQUE DE DÉPÔT
(JA) 蒸着マスク
Abrégé :
(EN) The purpose of the present invention is to achieve high-precision pattern deposition in film formation using a mask. Provided is a vapor deposition mask comprising: a mask body having a pattern section in which pattern openings are formed, and a border section surrounding the pattern section; a mask frame for supporting the border section of the mask body; and an intermediate member having a shape corresponding to the mask frame and disposed between the mask body and the mask frame. The mask body and a first surface of the intermediate member are joined together, and the mask frame and a surface of the intermediate member on the side opposite the first surface thereof are joined together.
(FR) La présente invention a pour objet d'obtenir un dépôt de motif de haute précision lors de la formation de films au moyen d'un masque. Plus précisément, l'invention concerne un masque de dépôt en phase vapeur comprenant : un corps de masque ayant une section de motif dans laquelle des ouvertures de motif sont formées, et une section de bordure entourant la section de motif ; un cadre de masque pour supporter la section de bordure du corps de masque ; et un élément intermédiaire ayant une forme correspondant au cadre de masque et disposé entre le corps de masque et le cadre de masque. Le corps de masque et une première surface de l'élément intermédiaire sont reliés l'un à l'autre, et le cadre de masque et une surface de l'élément intermédiaire sur le côté opposé à la première surface de celui-ci sont reliés l'un à l'autre.
(JA) マスクを用いた成膜において、高精度なパターン成膜を実現する。 蒸着マスクであって、パターン開口が形成されたパターン部および該パターン部を囲む枠部を有するマスク本体と、前記マスク本体の枠部を支持するマスクフレームと、前記マスクフレームに対応する形状を有し、前記マスク本体と前記マスクフレームとの間に配置される中間部材と、を備え、前記マスク本体と前記中間部材の第1の面とが接合され、前記マスクフレームと前記中間部材の前記第1の面とは反対側の面とが接合されている。
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)