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1. (WO2018144129) PROCÉDÉ DE CORRECTION DE POSITIONNEMENT DE MOTIF

Pub. No.:    WO/2018/144129    International Application No.:    PCT/US2017/064686
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 06 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/66
H01L 21/67
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: COSKUN, Tamer
CHEN, Jang Fung
Title: PROCÉDÉ DE CORRECTION DE POSITIONNEMENT DE MOTIF
Abstract:
L'invention concerne des procédés et un appareil permettant de corriger un positionnement de motif sur un substrat. Dans certains modes de réalisation, un procédé permettant de corriger un positionnement de motif sur un substrat comprend : la détection de trois points de référence destinés à un substrat ; la détection d'une pluralité d'ensembles de trois points d'emplacement de puce, chaque ensemble indiquant une orientation d'une puce, la pluralité d'ensembles de trois points d'emplacement de puce comprenant un premier ensemble associé à une première puce et un second ensemble associé à une seconde puce ; le calcul d'une transformation locale permettant d'orienter la première puce et la seconde puce sur le substrat ; la sélection de trois points d'orientation à partir de la pluralité d'ensembles de trois points d'emplacement de puce, les points d'orientation ne faisant pas partie du même ensemble ; le calcul d'une première transformation globale du substrat à partir des trois points d'orientation sélectionnés à partir de l'ensemble de points ; et le stockage de la première transformation globale et de la transformation locale pour le substrat.