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1. (WO2018140119) APPAREIL ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE RÉDUIRE À UN MINIMUM UNE DÉFORMATION SOUS L'EFFET DE LA TEMPÉRATURE DANS DES ÉLECTRODES UTILISÉES AVEC DES SOURCES D'IONS

Pub. No.:    WO/2018/140119    International Application No.:    PCT/US2017/061915
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 17 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/265
H01J 37/317
H01L 21/67
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
Inventors: BUONODONO, James P.
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE RÉDUIRE À UN MINIMUM UNE DÉFORMATION SOUS L'EFFET DE LA TEMPÉRATURE DANS DES ÉLECTRODES UTILISÉES AVEC DES SOURCES D'IONS
Abstract:
L'invention concerne un appareil permettant d'améliorer l'uniformité d'un faisceau d'ions. L'appareil comprend un élément chauffant servant à chauffer un bord le plus éloigné de l'ouverture de suppression de l'électrode de suppression. En fonctionnement, le bord de l'électrode de suppression le plus proche de l'électrode de suppression peut être chauffé au moyen du faisceau d'ions. Cette chaleur peut amener l'électrode de suppression à se déformer, altérant l'uniformité du faisceau ionique. En chauffant le bord distal de l'électrode de suppression, la déformation sous l'effet de la température de l'électrode de suppression peut être régulée. Selon d'autres modes de réalisation, le bord distal de l'électrode de suppression est chauffé de manière à créer un faisceau d'ions plus uniforme. En surveillant l'uniformité du faisceau d'ions en aval de l'électrode de suppression, par exemple à l'aide d'un profileur d'uniformité de faisceau, un dispositif de commande peut régler la chaleur appliquée au bord distal de manière à obtenir l'uniformité souhaitée du faisceau d'ions.