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1. (WO2018122602) PRÉCURSEURS DE ZIRCONIUM, D'HAFNIUM, DE TITANE ET DÉPÔT DE FILMS CONTENANT LE GROUPE 4 À L'AIDE DE CEUX-CI

Pub. No.:    WO/2018/122602    International Application No.:    PCT/IB2017/001655
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 16/455
C04B 35/622
C07F 17/00
C23C 16/50
C23C 16/06
Applicants: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
GATINEAU, Julien
KIM, Daehyeon
NOH, Wontae
GATINEAU, Satako
GIRARD, Jean-marc
Inventors: GATINEAU, Julien
KIM, Daehyeon
NOH, Wontae
GATINEAU, Satako
GIRARD, Jean-marc
Title: PRÉCURSEURS DE ZIRCONIUM, D'HAFNIUM, DE TITANE ET DÉPÔT DE FILMS CONTENANT LE GROUPE 4 À L'AIDE DE CEUX-CI
Abstract:
La présente invention concerne des compositions filmogènes contenant un métal de transition du groupe 4 consistant en des précurseurs de métaux de transition du groupe 4 présentant la formule : L-M-C5R3-I -[(ER2)m-(ER2)n-L']-2-[(ER2)o-(ER2)p-L']- et L-M-C5R3- 1 -[(ER2)m-(ER2)n)-L']-3-[(ER2)o-(ER2)p-L']- M représentant Ti, Zr ou Hf; chaque E représentant de manière indépendante C, Si, B ou P ; m et n représentant de manière indépendante 0, 1 ou 2 ; m + n >1 ; o et p étant de manière indépendante 0, 1 ou 2 ; o + p >1 ; chaque R est de manière indépendante hydrogène ou un groupe hydrocarboné en C1-C4 ; chaque L étant de manière indépendante un ligand anionique -1 sélectionné parmi le groupe consistant en NR'2, OR', Cp, amidinate, bêta-dicétonate ou céto-iminate, R' étant un H ou un groupe hydrocarboné en C1-C4 ; et chaque L' étant de manière indépendante NR" ou 0, R" étant un H ou un groupe hydrocarboné en C1-C4. L'invention concerne également des procédés de synthèse et l'utilisation des précurseurs de l'invention pour déposer des films contenant un métal de transition du groupe 4 sur un ou plusieurs substrats au moyen de procédés de dépôt en phase vapeur.