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1. (WO2018119649) SUBSTRAT DE RÉSEAU ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION DE SUBSTRAT DE RÉSEAU

Pub. No.:    WO/2018/119649    International Application No.:    PCT/CN2016/112343
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 28 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 21/336
Applicants: SHENZHEN ROYOLE TECHNOLOGIES CO., LTD
深圳市柔宇科技有限公司
Inventors: SHANG, Qiong
尚琼
Title: SUBSTRAT DE RÉSEAU ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION DE SUBSTRAT DE RÉSEAU
Abstract:
Un procédé de préparation d'un substrat de réseau consiste à : utiliser un substrat (101) ; former une première couche métallique sur la surface du substrat (101), et former des motifs sur la première couche métallique, de façon à former une grille (102) et une première électrode (103), la grille (102) et la première électrode (103) étant disposées à un certain intervalle ; former une première couche d'isolation (104) recouvrant la grille (102) et la première électrode (103) ; former, sur la première couche d'isolation (104), une couche active (105) disposée de manière à correspondre à la grille (102), et recuire la couche active (105) ; former une seconde couche d'isolation (106) recouvrant la couche active (105) ; former un premier trou traversant (1041) correspondant à la première électrode (103), de telle sorte qu'une partie de la première électrode (103) est exposée à travers le premier trou traversant (1041), et former un deuxième trou traversant (1061) et un troisième trou traversant (1062) qui sont formés à un certain intervalle et qui correspondent à la couche active (105), de sorte qu'une partie de la couche active (105) est exposée à travers le deuxième trou traversant (1061) et le troisième trou traversant (1062) ; et former une seconde électrode (107) connectée à la première électrode (103) au moyen du premier trou traversant (1041), une source (108) connectée à la couche active (105) au moyen du deuxième trou traversant (1061) et un drain (109) connecté à la couche active (105) au moyen du troisième trou traversant (1062), la seconde électrode (107), la source (108) et le drain (109) étant disposés à des intervalles, et la seconde électrode (107) ainsi que la première électrode (103) formant une électrode plane d'un condensateur.