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1. (WO2018105427) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN FILM SUR UN SUBSTRAT, ET SYSTÈME FILMOGÈNE
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N° de publication :    WO/2018/105427    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/042442
Date de publication : 14.06.2018 Date de dépôt international : 27.11.2017
CIB :
C23C 14/34 (2006.01), C23C 14/04 (2006.01), C23C 14/50 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventeurs : TAKEI Junichi; (JP).
SUZUKI Naoyuki; (JP).
MIYASHITA Tetsuya; (JP)
Mandataire : HASEGAWA Yoshiki; (JP).
KUROKI Yoshiki; (JP).
KASHIOKA Junji; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-236476 06.12.2016 JP
Titre (EN) METHOD FOR FORMING FILM ON SUBSTRATE, AND FILM-FORMING SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN FILM SUR UN SUBSTRAT, ET SYSTÈME FILMOGÈNE
(JA) 基板上に膜を形成する方法、及び、成膜システム
Abrégé : front page image
(EN)A film-forming system used in a method according to one embodiment of the present invention is provided with a film-forming device and a transfer module. The film-forming device has: a chamber main body that provides a treatment chamber; and a holder that holds a target, said holder being provided in the treatment chamber. The transfer module has: another chamber main body that provides a transfer chamber that can be connected to the treatment chamber; and a transfer device for transferring a substrate. The method includes: a step for transferring the substrate from the transfer chamber to the treatment chamber by means of the transfer device; and a step for discharging particles from the target for the purpose of forming a film on the substrate in a state wherein the transfer device is supporting the substrate and linearly moving the substrate in the treatment chamber.
(FR)Un système filmogène utilisé dans un procédé selon un mode de réalisation de la présente invention comprend un dispositif filmogène et un module de transfert. Le dispositif filmogène comprend : un corps principal de chambre qui renferme une chambre de traitement ; et un support qui supporte une cible, ledit support se trouvant dans la chambre de traitement. Le module de transfert comprend : un autre corps principal de chambre qui renferme une chambre de transfert qui peut être reliée à la chambre de traitement ; et un dispositif de transfert pour transférer un substrat. Le procédé comprend : une étape de transfert du substrat de la chambre de transfert à la chambre de traitement au moyen du dispositif de transfert ; et une étape de décharge de particules à partir de la cible afin de former un film sur le substrat quand le dispositif de transfert supporte le substrat et déplace linéairement le substrat dans la chambre de traitement.
(JA)一実施形態の方法において用いられる成膜システムは、成膜装置及び搬送モジュールを備える。成膜装置は、処理チャンバを提供するチャンバ本体と、処理チャンバ内に設けられたターゲットを保持するホルダと、を有する。搬送モジュールは、処理チャンバに接続可能な搬送チャンバを提供する別のチャンバ本体と、基板を搬送するための搬送装置と、を有する。方法は、搬送装置によって搬送チャンバから処理チャンバに基板を搬送する工程と、搬送装置が処理チャンバ内において基板を支持し、且つ、基板を直線的に移動させている状態で、基板上に膜を形成するためにターゲットから粒子を放出させる工程と、を含む。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)