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1. (WO2018105032) DISPOSITIF DE FOURNITURE D'ÉLÉMENTS DE MATRICE

Pub. No.:    WO/2018/105032    International Application No.:    PCT/JP2016/086149
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 07 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 21/67
Applicants: FUJI CORPORATION
株式会社FUJI
Inventors: HAYAKAWA Masashi
早川 昌志
Title: DISPOSITIF DE FOURNITURE D'ÉLÉMENTS DE MATRICE
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de fourniture d'éléments de matrice (1) qui comprend : une unité de maintien de tranche (2) qui comprend une feuille de maintien d'éléments expansible (23) maintenant sur une de ses surfaces supérieures une pluralité d'éléments de matrice (D) formée par découpage en dés d'une tranche de semi-conducteur, et un anneau de support (22) soutenant la périphérie de la feuille de maintien d'éléments ; une buse d'attraction par aspiration (5) qui attire par aspiration les éléments de matrice un par un à partir de la feuille de maintien d'éléments ; une caméra de capture d'image (6) qui capture une image des éléments de matrice avant qu'ils ne soient attirés par aspiration par la buse d'attraction par aspiration, ainsi qu'une situation environnante, pour acquérir des données d'image d'éléments ; une unité d'entraînement (4) qui amène la buse d'attraction par aspiration et la caméra de capture d'image à se déplacer par rapport à l'unité de maintien de tranche ; et une unité de stockage de traitement de données (87) qui intègre une pluralité d'éléments de données d'image d'éléments respectivement acquise en correspondance avec la pluralité d'éléments de matrice, ou une pluralité d'éléments de données de caractéristiques d'éléments obtenues respectivement par traitement d'image de la pluralité d'éléments de données d'image d'éléments, en données de caractéristiques de tranche (88) devant être stockées à l'intérieur.