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1. (WO2018105028) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D’INSPECTION

Pub. No.:    WO/2018/105028    International Application No.:    PCT/JP2016/086138
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 07 00:59:59 CET 2016
IPC: G01N 21/88
Applicants: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
三菱電機株式会社
Inventors: MIYAZAWA, Kazuyuki
宮澤 一之
Title: DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
Abstract:
Étant donné qu'un dispositif d'inspection classique doit effectuer, pour chaque pixel, le calcul et la détermination de la présence/absence d'une anomalie et doit positionner tous les pixels avec une grande précision, il existe un problème selon lequel un tel dispositif entraîne une augmentation du coût d'introduction et une augmentation du temps de calcul pour un ordinateur. La présente invention comprend : une unité d'analyse (12a) qui calcule un paramètre représentant une propriété de données d'un objet ne comprenant pas d'anomalie par exécution, sur les données de l'objet ne comprenant pas d'anomalie, d'une compression dimensionnelle afin de réduire les dimensions des données, et qui effectue une compression dimensionnelle sur des données d'un objet à inspecter à l'aide du paramètre ; une unité de récupération (14a) qui génère des données récupérées obtenues par la récupération des données d'un objet à inspecter ayant subi la compression dimensionnelle par l'unité d'analyse (12a) ; une unité de détermination (14a) qui fournit un résultat de détermination indiquant si l'objet à inspecter présente une anomalie ou non en fonction de l'amplitude de différence entre les données de l'objet à inspecter et les données récupérées ; une unité de sortie (15) qui sort le résultat de détermination fourni par l'unité de détermination (14a).