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1. (WO2018092480) SUBSTRAT À ÉLECTRODE TRAVERSANTE, DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR UTILISANT UN SUBSTRAT À ÉLECTRODE TRAVERSANTE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT À ÉLECTRODE TRAVERSANTE

Pub. No.:    WO/2018/092480    International Application No.:    PCT/JP2017/037220
Publication Date: Fri May 25 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 14 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05K 1/02
H01L 23/12
H01L 23/32
H05K 1/11
H05K 3/40
H05K 3/42
Applicants: DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
大日本印刷株式会社
Inventors: NAGANO Hiromasa
永野 浩正
TAI Takahiro
田井 貴裕
MAEKAWA Shinji
前川 慎志
Title: SUBSTRAT À ÉLECTRODE TRAVERSANTE, DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR UTILISANT UN SUBSTRAT À ÉLECTRODE TRAVERSANTE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT À ÉLECTRODE TRAVERSANTE
Abstract:
La présente invention concerne un substrat dans lequel la propriété de revêtement d'une électrode traversante dans un trou traversant est améliorée, ou un substrat dans lequel l'élimination d'une électrode traversante à partir d'un trou traversant peut être empêchée. Un substrat d'électrode traversante comprend un substrat et une électrode traversante. Le substrat comprend une première surface, une seconde surface sur le côté opposé à la première surface, et un trou traversant pénétrant à travers la première surface et la seconde surface. La paroi interne du trou traversant est sectionnée, du premier côté de surface, en une première paroi interne, une deuxième paroi interne et une troisième paroi interne. Le diamètre d'une première extrémité d'ouverture du trou traversant sur le premier côté de surface est inférieur au diamètre d'une seconde extrémité d'ouverture du trou traversant sur le second côté de surface. La troisième paroi interne a un angle d'inclinaison par rapport à la première surface et la seconde surface inférieur aux angles d'inclinaison de la première paroi interne et de la seconde paroi interne par rapport à la première surface et à la seconde surface. L'électrode traversante est disposée dans le trou traversant, et connecte électriquement un fil disposé sur le premier côté de surface et un fil disposé sur le second côté de surface.