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1. (WO2018084133) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR ULTRAVIOLETS

Pub. No.:    WO/2018/084133    International Application No.:    PCT/JP2017/039275
Publication Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 01 00:59:59 CET 2017
IPC: B08B 7/00
G03F 1/82
Applicants: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA
ウシオ電機株式会社
Inventors: YOSHIHARA, Keita
吉原 啓太
YAMAMORI, Kenji
山森 賢治
Title: DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR ULTRAVIOLETS
Abstract:
La présente invention vise à fournir un dispositif de traitement par ultraviolets capable de traiter, avec une grande fiabilité, des parties d'une surface à traiter d'un objet à traiter. Un dispositif de traitement par ultraviolets comprend : une lampe à rayonnement ultraviolet qui émet un rayonnement ultraviolet, et un élément fenêtre transmettant le rayonnement ultraviolet, ledit dispositif de traitement par ultraviolets exposant au rayonnement ultraviolet provenant de la lampe à rayonnement ultraviolet, une région à traiter d'un objet à traiter qui se situe à l'opposé de l'élément fenêtre transmettant le rayonnement ultraviolet, ledit dispositif de traitement par ultraviolets étant caractérisé en ce qu'un élément de blocage de lumière, qui bloque la lumière provenant de la lampe à rayonnement ultraviolet et est formé de manière correspondante par rapport à la forme d'une région de l'objet à traiter ne devant pas être traitée, et exclut la région à traiter, est placé de façon à faire face à la région ne devant pas être traitée et à être espacé de l'objet à traiter ; et un orifice d'alimentation en gaz de purge, prévu sur l'élément de blocage de lumière, ledit orifice d'alimentation en gaz de purge fournissant un gaz de purge dans l'espace formé entre l'élément de blocage de lumière et l'objet à traiter.