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1. (WO2018084133) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR ULTRAVIOLETS
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N° de publication : WO/2018/084133 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/039275
Date de publication : 11.05.2018 Date de dépôt international : 31.10.2017
CIB :
B08B 7/00 (2006.01) ,G03F 1/82 (2012.01)
Déposants : USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA[JP/JP]; 1-6-5, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150, JP
Inventeurs : YOSHIHARA, Keita; JP
YAMAMORI, Kenji; JP
Mandataire : OHI, Masahiko; JP
Données relatives à la priorité :
2016-21505102.11.2016JP
Titre (EN) ULTRAVIOLET TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR ULTRAVIOLETS
(JA) 紫外線処理装置
Abrégé : front page image
(EN) The purpose of the present invention is to provide an ultraviolet treatment device capable of treating, with high reliability, portions of a surface to be treated of an object to be treated. An ultraviolet treatment device comprising an ultraviolet radiation lamp that emits ultraviolet radiation and an ultraviolet radiation-transmissive window member, said ultraviolet treatment device irradiating, with ultraviolet radiation from the ultraviolet radiation lamp, a region to be treated of an object to be treated that is opposedly set apart from the ultraviolet radiation-transmissive window member, wherein said ultraviolet treatment device is characterized in that: a light-blocking member that blocks light from the ultraviolet radiation lamp and is shaped correspondingly with respect to the shape of a region not to be treated of the object to be treated that is exclusive of the region to be treated is provided so as to face the region not to be treated and be set apart from the object to be treated; and a purge gas supply port is provided to the light-blocking member, said purge gas supply port supplying a purge gas into the gap between the light-blocking member and the object to be treated.
(FR) La présente invention vise à fournir un dispositif de traitement par ultraviolets capable de traiter, avec une grande fiabilité, des parties d'une surface à traiter d'un objet à traiter. Un dispositif de traitement par ultraviolets comprend : une lampe à rayonnement ultraviolet qui émet un rayonnement ultraviolet, et un élément fenêtre transmettant le rayonnement ultraviolet, ledit dispositif de traitement par ultraviolets exposant au rayonnement ultraviolet provenant de la lampe à rayonnement ultraviolet, une région à traiter d'un objet à traiter qui se situe à l'opposé de l'élément fenêtre transmettant le rayonnement ultraviolet, ledit dispositif de traitement par ultraviolets étant caractérisé en ce qu'un élément de blocage de lumière, qui bloque la lumière provenant de la lampe à rayonnement ultraviolet et est formé de manière correspondante par rapport à la forme d'une région de l'objet à traiter ne devant pas être traitée, et exclut la région à traiter, est placé de façon à faire face à la région ne devant pas être traitée et à être espacé de l'objet à traiter ; et un orifice d'alimentation en gaz de purge, prévu sur l'élément de blocage de lumière, ledit orifice d'alimentation en gaz de purge fournissant un gaz de purge dans l'espace formé entre l'élément de blocage de lumière et l'objet à traiter.
(JA) 本発明は、高い信頼性をもって被処理物の被処理面を部分的に処理することのできる紫外線処理装置を提供することを目的とする。 紫外線を放射する紫外線ランプと、紫外線透過性窓部材とを備えており、当該紫外線ランプからの紫外線が、当該紫外線透過性窓部材を介して、当該紫外線透過性窓部材と離間して対向配置された被処理物の被処理領域に照射される紫外線処理装置であって、前記被処理物における前記被処理領域以外の処理禁止領域の形状に対応する形状を有する、前記紫外線ランプからの光を遮光する遮光部材が、当該処理禁止領域と対向し、かつ当該被処理物と離間するように設けられており、前記遮光部材には、当該遮光部材と前記被処理物との間の間隙にパージガスを供給するパージガス供給口が設けられていることを特徴とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)