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1. (WO2018078929) PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF, AGENT DE BASE ET STRATIFIÉ

Pub. No.:    WO/2018/078929    International Application No.:    PCT/JP2017/020103
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed May 31 01:59:59 CEST 2017
IPC: B05D 7/24
B05D 1/36
B32B 27/28
B32B 27/30
C08F 293/00
C09D 5/00
C09D 125/04
C09D 133/04
C09D 133/14
C09D 153/00
H01L 21/027
Applicants: OJI HOLDINGS CORPORATION
王子ホールディングス株式会社
Inventors: MORITA Kazuyo
森田 和代
HATTORI Kimiko
服部 貴美子
Title: PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF, AGENT DE BASE ET STRATIFIÉ
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de formation de motif qui comprend une étape consistant à appliquer un agent de base sur un substrat et une étape consistant à appliquer une composition à auto-assemblage pour la formation de motif sur une surface de substrat sur laquelle l'agent de base a été appliqué, formant ainsi un film auto-assemblé au moyen d'une séparation de phase à auto-assemblage, et la composition à auto-assemblage pour formation de motif contenant un copolymère séquencé qui comprend une fraction polymère a qui présente au moins l'une des structures représentées par la formule (103) ou la formule (104) et une fraction polymère b qui a une structure représentée par la formule (105), tout en ayant une teneur en fraction de sucre de 3 % en masse à 80 % en masse (inclus). Un agent de base qui contient un polymère comprenant au moins une unité choisie parmi des unités éventuellement substituées dérivées de (méth)acrylates et des unités éventuellement substituées dérivées du styrène, et qui est utilisé dans le but de provoquer une séparation de phase d'une composition à auto-assemblage pour la formation de motif contenant un copolymère séquencé qui comprend une fraction polymère a qui présente au moins l'une des structures représentées par la formule (103) ou la formule (104) et une fraction polymère b qui a une structure représentée par la formule (105), tout en ayant une teneur en fraction de sucre de 3 % en masse à 80 % en masse (inclus). Un stratifié qui comprend séquentiellement, dans l'ordre suivant, un substrat, une couche de base qui contient un polymère comprenant au moins une unité choisie parmi des unités éventuellement substituées dérivées de (méth)acrylates et des unités éventuellement substituées dérivées du styrène, et une couche de formation de motif qui contient un copolymère séquencé qui comprend une fraction polymère a qui a au moins l'une des structures représentées par la formule (103) ou la formule (104) et une fraction polymère b qui a une structure représentée par la formule (105), tout en ayant une teneur en fraction de sucre de 3 % en masse à 80 % en masse (inclus).