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1. (WO2018066338) APPAREIL DE DESSIN DE MOTIF

Pub. No.:    WO/2018/066338    International Application No.:    PCT/JP2017/033352
Publication Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 15 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
B41J 2/44
G02B 26/10
G02B 26/12
G03F 7/24
H04N 1/113
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: KITO Yoshiaki
鬼頭義昭
KATO Masaki
加藤正紀
NAKAYAMA Shuichi
中山修一
SUZUKI Tomonari
鈴木智也
Title: APPAREIL DE DESSIN DE MOTIF
Abstract:
Selon la présente invention, un appareil de dessin de motif (EX) comprend : une unité de commutation de faisceau qui a une pluralité d'éléments optiques sélectifs (OSn) permettant de diriger des faisceaux vers des unités de dessin (Un) sous commande électrique et les éléments optiques étant agencés de façon à faire passer séquentiellement les faisceaux à partir d'un dispositif de source de lumière (LS) pour fournir sélectivement les faisceaux du dispositif de source de lumière (LS) à l'une des unités de dessin; et une unité de commande (250) qui, lorsque l'intensité d'un faisceau projeté sur un substrat (P) à partir d'une unité de dessin spécifique (Un) parmi les unités de dessin (Un) doit être réglée, règle l'intensité du faisceau projeté sur le substrat (P) de l'une des unités de réglage d'intensité de faisceau correspondant à l'unité de dessin spécifique (Un), à l'intérieur d'une plage réglable, et commande les unités de réglage d'intensité de faisceau correspondant aux autres unités de dessin (Un) de manière à apparier les intensités des faisceaux projetés sur le substrat (P) des unités de dessin (Un) autres que l'unité de dessin spécifique (Un) à l'intensité du faisceau projeté sur le substrat (P) à partir de l'unité de dessin spécifique (Un).