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1. (WO2018063815) COIFFES MÉTALLIQUES SÉLECTIVES DOPÉES PERMETTANT D'AMÉLIORER L'ÉLECTROMIGRATION DU CUIVRE AVEC UN REVÊTEMENT EN RUTHÉNIUM

Pub. No.:    WO/2018/063815    International Application No.:    PCT/US2017/051566
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 15 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/768
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: NAIK, Mehul B.
WU, Zhiyuan
Title: COIFFES MÉTALLIQUES SÉLECTIVES DOPÉES PERMETTANT D'AMÉLIORER L'ÉLECTROMIGRATION DU CUIVRE AVEC UN REVÊTEMENT EN RUTHÉNIUM
Abstract:
Des modes de réalisation de la présente invention concernent des procédés améliorés de formation d'une structure dans un substrat. Dans un mode de réalisation, le procédé consiste à former un évidement dans le substrat, à former une couche barrière sur des surfaces exposées du substrat et des surfaces exposées de l'évidement, à former une couche intermédiaire sur la couche barrière, à former une couche de remplissage métallique sur la couche intermédiaire et à remplir l'évidement, à aplanir la couche de remplissage métallique en vue d'exposer la couche barrière, la couche intermédiaire, et une surface supérieure du substrat, à former sélectivement une couche de cobalt sur la couche de remplissage métallique, et à exposer le substrat à un précurseur comportant de l'aluminium en vue de former sélectivement une couche d'alliage de cobalt-aluminium sur au moins une surface supérieure de la couche de cobalt.