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1. (WO2018063350) PROCÉDÉS ET APPAREIL DE PIÉGEAGE D'IMPURETÉS DANS DES SEMI-CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2018/063350    International Application No.:    PCT/US2016/054855
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 29/49
H01L 21/38
H01L 21/768
H01L 21/70
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: LILAK, Aaron D.
KENNEL, Harold W.
MORROW, Patrick
MEHANDRU, Rishabh
CEA, Stephen M.
Title: PROCÉDÉS ET APPAREIL DE PIÉGEAGE D'IMPURETÉS DANS DES SEMI-CONDUCTEURS
Abstract:
L'invention concerne des procédés et un appareil de piégeage d'impuretés dans des semi-conducteurs. Un dé multicouche donné à titre d'exemple comprend un matériau de substrat, une couche de composant au-dessous du matériau de substrat, et une région d'attraction d'impuretés disposée dans le matériau de substrat.