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1. (WO2018059612) ARRANGEMENT D'ÉLECTRODES POUR FORMER UNE DÉCHARGE DE PLASMA À BARRIÈRE DIÉLECTRIQUE
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N° de publication : WO/2018/059612 N° de la demande internationale : PCT/DE2017/100612
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 21.07.2017
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 15.11.2017
CIB :
H05H 1/24 (2006.01) ,H05H 1/46 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
05
TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
H
TECHNIQUE DU PLASMA; PRODUCTION DE PARTICULES ÉLECTRIQUEMENT CHARGÉES ACCÉLÉRÉES OU DE NEUTRONS; PRODUCTION OU ACCÉLÉRATION DE FAISCEAUX MOLÉCULAIRES OU ATOMIQUES NEUTRES
1
Production du plasma; Mise en œuvre du plasma
24
Production du plasma
H ÉLECTRICITÉ
05
TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
H
TECHNIQUE DU PLASMA; PRODUCTION DE PARTICULES ÉLECTRIQUEMENT CHARGÉES ACCÉLÉRÉES OU DE NEUTRONS; PRODUCTION OU ACCÉLÉRATION DE FAISCEAUX MOLÉCULAIRES OU ATOMIQUES NEUTRES
1
Production du plasma; Mise en œuvre du plasma
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Production du plasma
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utilisant des champs électromagnétiques appliqués, p.ex. de l'énergie à haute fréquence ou sous forme de micro-ondes
Déposants :
CINOGY GMBH [DE/DE]; Max-Näder-Strasse 15 37115 Duderstadt, DE
Inventeurs :
WANDKE, Dirk; DE
TRUTWIG, Leonhard; DE
HAHNL, Mirko; DE
STORCK, Karl-Otto; DE
Mandataire :
GRAMM, LINS & PARTNER PATENT- UND RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Theodor-Heuss-Straße 1 38122 Braunschweig, DE
Données relatives à la priorité :
10 2016 118 569.830.09.2016DE
Titre (EN) ELECTRODE ARRANGEMENT FOR FORMING A DIELECTRIC BARRIER PLASMA DISCHARGE
(FR) ARRANGEMENT D'ÉLECTRODES POUR FORMER UNE DÉCHARGE DE PLASMA À BARRIÈRE DIÉLECTRIQUE
(DE) ELEKTRODENANORDNUNG ZUR AUSBILDUNG EINER DIELEKTRISCH BEHINDERTEN PLASMAENTLADUNG
Abrégé :
(EN) The invention relates to an electrode arrangement for forming a dielectric barrier plasma discharge between an electrode (1) supplied with an AC high voltage by a control device (20) and a treatment surface (21) of an electrically conductive body (22), said arrangement functioning as a ground electrode, wherein a dielectric material (8) completely covers the electrode (1) up to the treatment surface (21) and forms a contact side for the surface (21). The electrode arrangement permits effective and homogeneous formation of the plasma (23), in particular for large treatment surfaces (21), because the electrode (1) consists of at least two electrode portions (2, 3) arranged next to one another at the same distance (6) from the contact side and insulated from one another by the dielectric material (8), and because adjacent electrode portions are supplied by the control device with compensating partial AC voltages which are mirror-inverted in terms of the waveform and the voltage level.
(FR) L'invention concerne un arrangement d'électrodes destiné à former une décharge de plasma à barrière diélectrique entre une électrode (1) chargée avec une haute tension alternative par un dispositif de commande (20) et une surface (21) à traiter d'un corps (22) électriquement conducteur qui fait office d'électrode de masse. Un diélectrique (8) recouvre entièrement l'électrode (1) en direction de la surface (21) à traiter et forme un côté d'appui pour la surface (21). L'arrangement d'électrodes selon l'invention permet, notamment en présence de grandes surfaces (21) à traiter, une formation efficace et homogène du plasma (23) en ce que l'électrode (1) se compose d'au moins deux électrode partielles (2, 3) disposées l'une à côté de l'autre avec un même écart (6) par rapport au côté d'appui et isolées l'une de l'autre par le diélectrique (8), et en ce que les électrodes partielles voisines sont alimentées par le dispositif de commande avec des tensions alternatives dont la forme d'onde et l'amplitude de tension sont diamétralement opposées et qui se compensent mutuellement.
(DE) Eine Elektrodenanordnung zur Ausbildung einer dielektrisch behinderten Plasmaentladung zwischen einer von einer Steuereinrichtung (20) mit einer Wechselhochspannung gespeicherten Elektrode (1) und einer zu behandelnden Oberfläche (21) eines elektrisch leitfähigen Körpers (22), die als Masseelektrode dient, wobei ein Dielektrikum (8) die Elektrode (1) zur zu behandelnden Oberfläche (21) hin vollständig abdeckt und eine Anlageseite für die Oberfläche (21) bildet, ermöglicht insbesondere bei großen zu behandelnden Oberflächen (21) eine effektive und homogene Ausbildung des Plasmas (23) dadurch, dass die Elektrode (1) aus wenigstens zwei im gleichen Abstand (6) zur Anlageseite nebeneinander angeordneten und durch das Dielektrikum (8) voneinander isolierten Teilelektroden (2, 3) besteht und dass benachbarte Teilelektroden von der Steuereinrichtung mit bezüglich der Wellenform und der Spannungshöhe gegengleichen, sich kompensierenden Teil-Wechselspannungen gespeist werden.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)