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1. WO2018050876 - COMPOSANT POUR UN SYSTÈME DE MIROIRS POUR LA LITHOGRAPHIE EUV

Numéro de publication WO/2018/050876
Date de publication 22.03.2018
N° de la demande internationale PCT/EP2017/073376
Date du dépôt international 17.09.2017
CIB
G03F 7/20 2006.1
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20Exposition; Appareillages à cet effet
C22C 32/00 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
22MÉTALLURGIE; ALLIAGES FERREUX OU NON FERREUX; TRAITEMENT DES ALLIAGES OU DES MÉTAUX NON FERREUX
CALLIAGES
32Alliages non ferreux contenant entre 5 et 50% en poids d'oxydes, de carbures, de borures, de nitrures, de siliciures ou d'autres composés métalliques, p.ex. oxynitrures, sulfures, qu'ils soient soient ajoutés comme tels ou formés in situ
C22C 47/04 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
22MÉTALLURGIE; ALLIAGES FERREUX OU NON FERREUX; TRAITEMENT DES ALLIAGES OU DES MÉTAUX NON FERREUX
CALLIAGES
47Fabrication d'alliages contenant des fibres ou des filaments métalliques ou non métalliques
02Prétraitement des fibres ou des filaments
04par revêtement, p.ex. avec un recouvrement protecteur ou activé
CPC
B22F 2998/10
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
22CASTING; POWDER METALLURGY
FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER
2998Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
10Processes characterised by the sequence of their steps
B22F 2999/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
22CASTING; POWDER METALLURGY
FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER
2999Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy
C22C 32/0021
CCHEMISTRY; METALLURGY
22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
CALLOYS
32Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides whether added as such or formed in situ
001with only oxides
0015with only single oxides as main non-metallic constituents
0021Matrix based on noble metals, Cu or alloys thereof
C22C 47/04
CCHEMISTRY; METALLURGY
22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
CALLOYS
47Making alloys containing metallic or non-metallic fibres or filaments
02Pretreatment of the fibres or filaments
04by coating, e.g. with a protective or activated covering
C22C 47/14
CCHEMISTRY; METALLURGY
22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
CALLOYS
47Making alloys containing metallic or non-metallic fibres or filaments
14by powder metallurgy, i.e. by processing mixtures of metal powder and fibres or filaments
C22C 49/02
CCHEMISTRY; METALLURGY
22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
CALLOYS
49Alloys containing metallic or non-metallic fibres or filaments
02characterised by the matrix material
Déposants
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • EVA, Eric
Mandataires
  • WERNER & TEN BRINK - PATENTANWÄLTE PARTGMBB
Données relatives à la priorité
10 2016 217 735.416.09.2016DE
Langue de publication Allemand (de)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) KOMPONENTE FÜR EINE SPIEGELANORDNUNG FÜR DIE EUV-LITHOGRAPHIE
(EN) COMPONENT FOR A MIRROR ARRAY FOR EUV LITHOGRAPHY
(FR) COMPOSANT POUR UN SYSTÈME DE MIROIRS POUR LA LITHOGRAPHIE EUV
Abrégé
(DE) Komponente für eine Spiegelanordnung für die EUV-Lithographie Insbesondere für den Einsatz in Facettenspiegeln in Beleuchtungssystemen von EUV- Lithographievorrichtungen wird eine Komponente (500) für eine Spiegelanordnung für die EUV-Lithographie vorgeschlagen, die zumindest teilweise aus einem Verbundmaterial mit kupfer- und/oder aluminiumhaltigem Matrixmaterial (502) und mit Verstärkungsmaterial in Form von Fasern (504) gefertigt ist, wobei das Verbundmaterial Partikel (508) aufweist aus einem oder mehreren der Materialien der Gruppe Graphit, diamantartigem Kohlenstoff und Keramik.
(EN) The invention relates to a component for a mirror array for EUV lithography, particularly for use in faceted mirrors in illumination systems of EUV lithography devices. A component (500) for a mirror array for EUV lithography is proposed which is at least partially made from a composite material comprising matrix material (502) that contains copper and/or aluminium, and reinforcing material in the form of fibres (504), said composite material comprising particles (508) that consist of one or more of the materials from the group: graphite, adamantine carbon, and ceramic.
(FR) L'invention concerne un composant pour un système de miroirs pour la lithographie EUV, destiné à être utilisé en particulier dans des miroirs à facettes à l’intérieur de systèmes d’éclairage de dispositifs de lithographie EUV. Le composant (500) selon l’invention se caractérise en ce qu’il est réalisé au moins partiellement à partir d’un matériau composite comprenant un matériau de matrice (502) contenant du cuivre et/ou de l’aluminium et un matériau de renforcement sous forme de fibres (504), le matériau composite présentant des particules (508) d’un ou de plusieurs matériaux du groupe constitué par le graphite, le carbone sous forme de diamant amorphe et la céramique.
Documents de brevet associés
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