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1. (WO2018042580) PROCÉDÉ DE MESURE D'IMAGE, PROGRAMME DE MESURE D'IMAGE, DISPOSITIF DE MESURE D'IMAGE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'OBJET

Pub. No.:    WO/2018/042580    International Application No.:    PCT/JP2016/075580
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Sep 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01B 11/00
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: KUBOTA, Junichi
窪田純一
Title: PROCÉDÉ DE MESURE D'IMAGE, PROGRAMME DE MESURE D'IMAGE, DISPOSITIF DE MESURE D'IMAGE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'OBJET
Abstract:
L'invention concerne un procédé de mesure d'image qui rend possible une mesure d'image simple. Un procédé de mesure d'image est conçu pour comprendre la sélection d'une image parmi des images de différentes parties d'un premier objet sur la base des caractéristiques des images, l'alignement d'un second objet sur la base de l'image sélectionnée et d'une image d'une partie du second objet correspondant à l'image sélectionnée et la mesure de l'image du second objet.