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1. (WO2018041834) CAPTEUR ÉLECTROCHIMIQUE, ET PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN CAPTEUR ÉLECTROCHIMIQUE

Pub. No.:    WO/2018/041834    International Application No.:    PCT/EP2017/071669
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 27/404
Applicants: ANALOG DEVICES GLOBAL
Inventors: BERDUQUE, Alfonso
MCGUINNESS, Patrick
SPEER, Raymond J.
CAWLEY, Brendan
MCAULIFFE, Donal
LANE, William
BERNEY, Helen
Title: CAPTEUR ÉLECTROCHIMIQUE, ET PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN CAPTEUR ÉLECTROCHIMIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un capteur électrochimique qui peut être formé en utilisant des techniques de micro-usinage couramment utilisées dans la fabrication de circuits intégrés. Ceci est accompli en formant des microcapillaires dans un substrat de silicium et en formant une ouverture dans une couche isolante pour permettre à des gaz environnementaux d'atteindre le côté supérieur du substrat. Une électrode poreuse est imprimée sur le côté supérieur de la couche isolante de telle sorte que l'électrode soit formée dans l'ouverture dans la couche isolante. Le capteur comprend également au moins une électrode supplémentaire. L'électrolyte est ensuite formé par-dessus les électrodes. Un capuchon est formé sur les électrodes et l'électrolyte. Cet agencement peut être fabriqué facilement à l'aide de techniques de micro-usinage.