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1. (WO2018041169) DISPOSITIF D'INSPECTION OPTIQUE AUTOMATIQUE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
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N° de publication : WO/2018/041169 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/099791
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 31.08.2017
CIB :
G01N 21/95 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD.[CN/CN]; 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventeurs : HU, Yuhua; CN
ZHANG, Pengli; CN
WANG, Fan; CN
XU, Wen; CN
Mandataire : SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Données relatives à la priorité :
201610795343.031.08.2016CN
Titre (EN) AUTOMATIC OPTICAL INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION OPTIQUE AUTOMATIQUE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(ZH) 一种自动光学检测装置及其检测方法
Abrégé : front page image
(EN) An automatic optical inspection device, comprising: a workpiece platform (11, 21), an industrial control machine (12, 22) serving as a control center, a first light source (13a, 23a) used for a light path of a brightfield light source, a second light source (13b, 23b) used for a light path of a darkfield light source, a first image collector (14a, 24a) used for brightfield image collection, a second image collector (14b, 24b) used for darkfield image collection, and a switching device (16, 26) disposed in the light path of the brightfield light source. The industrial control machine (12, 22) is used for controlling the switching device (16, 26) to turn off the light path of the brightfield light source before the second light source (13b, 23b) used for the light path of the darkfield light source is turned on. The switching device (16, 26) is disposed in the light path of the brightfield light source, and the switching device (16, 26) turns off the light path of the brightfield light source before the second light source (13b, 23b) used for the light path of the darkfield light source is turned on, which not only effectively eliminates afterglow effect but also further improves accuracy of a collected darkfield image.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'inspection optique automatique comprenant : une plateforme de pièce à travailler (11, 21), une machine de commande industrielle (12, 22) servant de centre de commande, une première source de lumière (13a, 23a) utilisée pour un trajet de lumière d'une source de lumière en fond clair, une seconde source de lumière (13b, 23b) utilisée pour un trajet de lumière d'une source de lumière en fond noir, un premier collecteur d'image (14a, 24a) utilisé pour la collecte d'image en fond clair, un second collecteur d'image (14b, 24b) utilisé pour la collecte d'image en fond noir et un dispositif de commutation (16, 26) situé dans le trajet de lumière de la source de lumière en fond clair. La machine de commande industrielle (12, 22) est utilisée pour commander au dispositif de commutation (16, 26) la mise hors tension du trajet de lumière de la source de lumière en fond clair avant la mise sous tension de la seconde source de lumière (13b, 23b) utilisée pour le trajet de lumière de la source de lumière en fond noir. Le dispositif de commutation (16, 26) est situé dans le trajet de lumière de la source de lumière en fond clair et le dispositif de commutation (16, 26) met hors tension le trajet de lumière de la source de lumière en fond clair avant la mise sous tension de la seconde source de lumière (13b, 23b) utilisée pour le trajet de lumière de la source de lumière en fond noir, ce qui permet non seulement d'éliminer efficacement l'effet de rémanence mais également d'améliorer davantage la précision d'une image de fond noir collectée.
(ZH) 一种自动光学检测装置,包括:工件台(11,21),作为控制中心的工控机(12,22),用于明场光源光路的第一光源(13a,23a),用于暗场光源光路的第二光源(13b,23b),用于明场图像采集的第一图像采集器(14a,24a),用于暗场图像采集的第二图像采集器(14b,24b),以及设置在明场光源光路中的开关装置(16,26),工控机(12,22)用于控制开关装置(16,26)在用于暗场光源光路的第二光源(13b,23b)点亮前关闭明场光源光路。通过在明场光源光路中设置开关装置(16,26),且开关装置(16,26)在用于暗场光源光路的第二光源(13b,23b)点亮前关闭明场光源光路,不仅有效的消除了余辉效应,而且进一步提升了暗场采集图像的精确性。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)