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1. (WO2018023838) NOUVEAU FILM DE PROTECTION POUR EMPÊCHER LA FORMATION DE VOILE SUR UN PHOTOMASQUE

Pub. No.:    WO/2018/023838    International Application No.:    PCT/CN2016/095948
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Aug 20 01:59:59 CEST 2016
IPC: G03F 1/62
G03F 1/64
G03F 1/82
Applicants: CHANGZHOU RUIZE MICROELECTRONICS CO., LTD.
常州瑞择微电子科技有限公司
Inventors: XU, Fei
徐飞
Title: NOUVEAU FILM DE PROTECTION POUR EMPÊCHER LA FORMATION DE VOILE SUR UN PHOTOMASQUE
Abstract:
La présente invention concerne un nouveau film de protection pour empêcher la formation d’un voile sur un photomasque, comprenant un cadre (2) raccordé à un photomasque (1) et un film de protection (3) raccordé aux extrémités du cadre (2). Un canal de gaz est disposé sur le cadre (2). Selon la conception du film de protection, en disposant un canal de gaz sur un cadre métallique du film de protection, un gaz propre balaie un espace entouré par un photomasque et le film de protection, de sorte que des substances à petite molécule excitées par des photons d’ultraviolet profond dans l’espace soient balayées hors de l’espace par le gaz, ou bien les substances à petite molécule sont aspirées hors du canal de gaz par un dispositif auxiliaire (tel qu’une pompe à vide), de sorte que les substances à petite molécule ne puissent pas s’agréger pour former un voile sur la surface du photomasque, la durée de vie du photomasque peut être efficacement améliorée, et le film de protection présente une conception raisonnable en termes de structure, et est commode et pratique.