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1. (WO2018021216) GABARIT D’INSPECTION, DISPOSITIF D’INSPECTION DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN GABARIT D’INSPECTION
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N° de publication :    WO/2018/021216    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/026632
Date de publication : 01.02.2018 Date de dépôt international : 24.07.2017
CIB :
G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/02 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)
Déposants : NIDEC-READ CORPORATION [JP/JP]; 10, Tsutsumisoto-cho, Nishikyogoku, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6150854 (JP)
Inventeurs : OTA Norihiro; (JP)
Mandataire : YANAGINO Takao; (JP).
MORIOKA Norio; (JP).
SEKIGUCHI Hisayoshi; (JP).
OHNISHI Hiroto; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-148507 28.07.2016 JP
Titre (EN) INSPECTION JIG, SUBSTRATE INSPECTION DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING INSPECTION JIG
(FR) GABARIT D’INSPECTION, DISPOSITIF D’INSPECTION DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN GABARIT D’INSPECTION
(JA) 検査治具、基板検査装置、及び検査治具の製造方法
Abrégé : front page image
(EN)This inspection jig is provided with: a plurality of substantially bar-shaped probes Pr for bringing leading end portions Pra thereof into contact with a plurality of inspection points of a substrate 100, respectively; a supporting member 300 that supports the probes Pr in a state wherein the leading end portions Pra are disposed to be in contact with the inspection points of the substrate 100; device-side connecting terminals 36 electrically connected to an inspection device main body 2; a plurality of standard disposition electrodes 332, which are electrically connected to the device-side connecting terminals 36, and are disposed in previously set standard disposition; and a conversion block 31, which has a first surface 311 and a second surface 312 on the sides opposite to each other, and in which first electrodes E1 are formed, said first electrodes being disposed on the first surface 311 such that the first electrodes are in contact with the rear end portions Prb of the probes Pr, and second electrodes E2 are formed, said second electrodes being electrically connected to the first electrodes E1, and being disposed on the second surface 312 such that the second electrodes correspond to the standard disposition.
(FR)La présente invention concerne un gabarit d’inspection muni : d’une pluralité de sondes (Pr) sensiblement en forme de barre pour porter des parties d’extrémité avant (Pra) des sondes en contact avec une pluralité de points d’inspection d’un substrat (100), respectivement ; un élément formant support (300) qui soutient les sondes (Pr) dans état dans lequel les parties d’extrémité avant (Pra) sont disposées pour se trouver en contact avec les points d’inspection du substrat (100) ; des terminaux de connexion coté dispositif (36) électriquement connectés à un corps principal de dispositif d’inspection (2) ; une pluralité d’électrodes de disposition standard (332), qui sont électriquement connectées aux terminaux de connexion coté dispositif (36), et qui sont disposées selon une disposition standard précédemment déterminée ; et un bloc de conversion (31), qui présente une première surface (311) et une seconde surface (312) sur les côtés opposés l’un à l’autre, et dans lesquelles des premières électrodes (E1) sont formées, lesdites premières électrodes étant disposées sur la première surface (311) de sorte que les premières électrodes se trouvent en contact avec les parties d’extrémité arrière (Prb) des sondes (Pr), et les secondes électrodes (E2) sont formées, lesdites secondes électrodes étant électriquement connectées aux premières électrodes (E1), et étant disposées sur la seconde surface (312) de sorte que les secondes électrodes correspondent à la disposition standard.
(JA)検査治具は、略棒状の形状を有し、基板100の複数の検査点に各々の先端部Praを接触させるための複数のプローブPrと、プローブPrを、先端部Praを基板100の検査点にそれぞれ接触させるべく配置した状態で支持する支持部材300と、検査装置本体2に電気的に接続される装置側接続端子36と、装置側接続端子36と導通すると共に予め設定された標準配置で配置された複数の標準配置電極332と、互いに対向する第一面311と第二面312とを有し、第一面311にプローブPrの後端部Prbと接触するように配置された第一電極E1が形成され、第一電極E1と導通すると共に第二面312に標準配置に対応するように配置される第二電極E2が形成された変換ブロック31とを備えた。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)