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1. (WO2017215254) PUCE DE MANOMÈTRE À DOUBLE CAVITÉ ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2017/215254    International Application No.:    PCT/CN2017/000359
Publication Date: Fri Dec 22 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 17 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01L 9/04
Applicants: INSTITUTE OF GEOLOGY AND GEOPHYSICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES
中国科学院地质与地球物理研究所
Inventors: ZHANG, Yiming
张轶铭
ZENG, Fan
曾凡
WONG, Man
王文
CHAU, Kevin
周显良
Title: PUCE DE MANOMÈTRE À DOUBLE CAVITÉ ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
La présente invention concerne une puce (31) de manomètre à double cavité et son procédé de fabrication. Un manomètre comporte une cavité (33) et une puce (31) disposée dans la cavité (33). La puce (31) est comprimée uniformément dans la cavité (33) lorsqu'elle est soumise à une pression extérieure à mesurer, et peut être déformée librement. La puce (31) est essentiellement constituée de silicium monocristallin et comprend une plaque de couverture (3), un substrat (6) et une plaque de base (7) qui sont mutuellement reliés. Une partie évidement (5) est formée au niveau de la plaque de couverture (3). La partie évidement (5) de la plaque de recouvrement (3) et le substrat (6) forment ensemble une cavité supérieure étanche. Une couche de silice (4) est formée entre le substrat (6) et la plaque de recouvrement (3). Le substrat (6) comprend un élément de mesure de piézorésistance (23) situé à l'intérieur de la cavité supérieure. Une partie évidement (5) est formée au niveau de la plaque de base (7). La partie évidement (5) de la plaque de base (7) et le substrat (6) forment ensemble une cavité inférieure étanche. La puce (31) est appropriée pour mesurer une pression super élevée et est moins affectée par des températures, peut être utilisée dans un environnement à température élevée, et a une précision et une fiabilité de mesure élevées et de faibles coûts de fabrication.